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电子光学 电子科学与技术系 第一章电场和磁场 电子光学是一门研究真空中带电粒子在电场和磁场中运动规律的科学。 研究带电粒子的运动规律则首先研究的对象就是电场和磁场 第一章电场和磁场 首先应该确定电场和磁场的分布规律和特性，确定作用力的方向。 只有知道了电、磁场的分布规律后，才可以进一步确定电子在电、磁场中的运动规律和状态。 第一章电场和磁场 求解电磁场问题可归结为数学上求解偏微分方程边值问题。 描述物理场特性的方程；边界条件。 第一章电场和磁场 第一章电场和磁场 根据电磁场中的麦克斯韦尔方程，真空中的静电场和静磁场分布规律可以表示为： 第一章电场和磁场 式中 为电场强度； 为电位移矢量 B为磁感应强度；H为磁场强度， 第一章电场和磁场 如果考虑电磁场中不存在空间电荷和空间电流时，麦克斯韦尔方程组可以写为： 第一章电场和磁场 从（1－3）式可以看知，静电场为无旋场，因此可以用电位函数的梯度描述电场强度，即 第一章电场和磁场 确定描述电场分布规律的微分方程为 第一章电场和磁场 方程（1-7）表示的是一个位函数在空间的分布规律；是静态的，和时间没有关系；它可以表示物理场，如：电场、磁场、温度场等。 描述磁场的微分方程也可以从Maxwell方程求出。 第一章电场和磁场 第一章电场和磁场 1－1旋转对称静电场 旋转对称静电场是由具有公共对称轴的，若干个旋转对称电极构成的，既，旋转对称电极形成的电场分布称为旋转对称静电场。旋转对称静电场的电场和电位分布具有旋转对称性。旋转对称轴为z轴，一般情况下，带电粒子运动围绕该轴进行，当采用圆柱坐标系时，旋转对称系统满足下列关系： 1－1旋转对称静电场 1－1旋转对称静电场 那么，圆柱坐标下的拉普拉斯方程表示如下： 1－1旋转对称静电场 当空间没有点电荷、面电荷和偶极电荷层，即，不存在奇/异点时，电位 及其各阶微商是连续可导的解析函数，可将 展开成r的幂级数形式，r小于1： 1－1旋转对称静电场 由于其关于z轴的旋转对称性，式中r应与符号无关，即应有 1－1旋转对称静电场 1－1旋转对称静电场 1－1旋转对称静电场 1－1旋转对称静电场 1－1旋转对称静电场 1－1旋转对称静电场 1－1旋转对称静电场 1－1旋转对称静电场 1－1旋转对称静电场 1－1旋转对称静电场 1－1旋转对称静电场 1－1旋转对称静电场 1－1旋转对称静电场 电位分布的级数表达形式称为谢尔赤公式，它建立了轴上电位与空间电位的关系，因此，在研究旋转对称系统空间电位分布时，只需求得轴上电位分布即可。 1－1旋转对称静电场 当考虑近轴情况时，可以忽略的3次以上高阶项，可得到电位和电场强度的表示式为： 1－1旋转对称静电场 由于电位表达式为r的幂级数形式，只有在近轴情况下级数收敛很快，在远轴区，级数收敛很慢。 下面为一个由三个圆筒电极组成的旋转对称场系统的例子。 1－1旋转对称静电场 1－1旋转对称静电场 二．旋转对称电场的近轴性质 旋转对称性 旋转对称性可以表示为与r的方向无关，即 1－1旋转对称静电场 1－1旋转对称静电场 电场主要表现为轴向场 1－1旋转对称静电场 1－1旋转对称静电场 1－2 旋转对称磁场 1－2 旋转对称磁场 1－2 旋转对称磁场 1－2 旋转对称磁场 1－2 旋转对称磁场 1－2 旋转对称磁场 1－2 旋转对称磁场 1－2 旋转对称磁场 1－2 旋转对称磁场 1－2 旋转对称磁场 1－2 旋转对称磁场 1－2 旋转对称磁场 1－4 直轴系统多极场 1－4 直轴系统多极场 1－4 直轴系统多极场 1－4 直轴系统多极场 1－4 直轴系统多极场 1－4 直轴系统多极场 1－4 直轴系统多极场 1－4 直轴系统多极场 1－4 直轴系统多极场 1－4 直轴系统多极场 1－4 直轴系统多极场 一般情况下，任意非旋转系统包括旋转对称、二极、四极、六极、八极等多极分量。如果可以将电极做成与各极场的等位面相同，那么系统只存在单极系统，例如：圆筒电极构成旋转对称系统，平行板电极构成二极系统等，如果电极不能形成标准的电极形状，就可能由各个多极系统构成。 四极场 六极场 八极场 依此类推，可以得到十极场、十二极场等 等。可以用2m表示几极场。 二极场是仅有一个方向受力，因此是偏转场。 四极场的等位线为双曲线形式，双曲线与x、y轴成45度渐进线。 四极场一个方向受到聚焦力，令一个方向受到散焦力。 六极场具有三对六个电极组成，在2圆周角内场变化三次，一个周 期内离子受到力变化三次，形成星形结构，用于像差校正器。 八极场 作用力正比于离轴距离的4次方，可以对三级几何形象差起到调节作用，常被用于作为像差修正系统的元件 （1－27） （1－28） （1－29）