仪器设备作业标准CF-C108吋前段化学清洗-国家奈米元件试验室.PDFVIP

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2018-05-30 发布于天津
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仪器设备作业标准CF-C108吋前段化学清洗-国家奈米元件试验室.PDF

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仪器设备作业标准CF-C108吋前段化学清洗-国家奈米元件试验室

文件編號 S3-NL05 DOCUMENT NO. 總頁數共 24 頁 TOTAL PAGE 文件名稱儀器設備作業標準 (CF-C10 8吋前段化學清洗蝕刻工作站 ) TITLE 機台名稱： 8吋前段化學清洗蝕刻工作站機台編號： CF-C10 制訂部門：微影光罩組制訂日期： 2018/01/15 文件制修訂記錄 NO 發行日期修訂申請書編號制修訂內容修訂頁次版本 01 2018/02/01 107-DC01 制定初版 01 02 03 04 05 06 07 08 核准審查制訂 DOCUMENT NO. ： TITLE ：儀器設備作業標準（CF-C10 8吋前段化學清洗蝕刻 S3-NL05 工作站） ISSUE DATE 2018/02/01 REVISION 01 PAGE 第 1 / 24 頁一、目的：定義 8吋前段化學清洗蝕刻工作站之操作規範，以確保操作業品質。二、範圍：適用於 8吋前段化學清洗製程及濕式蝕刻製程。三、權責： 1.組織權責：工程師負責制定及修改規範。 2.執行人員資格：經過 8吋前段化學清洗蝕刻工作站訓練及考核通過之人員。四、名詞定義：無五、相關文件：無六、標準作業程序： 1.設備使用前 /後之確認 1.1.作業前確認項目如下： 1.1.1.本清洗蝕刻工作站，為前段製程專用；欲使用者務需確認，所持之晶圓確為前段製程流程後，方可進入本機台作業，以免造成設備污染。 1.1.2.機台狀況確認： 1.1.2.1.設備運作狀態，可由設備端掛有之設備狀態顯示牌示得知；綠牌即為設備正常運轉中；紅牌為設備維修中；藍牌為設備保養中。 1.1.2.2.檢查設備使用記錄表，確認先行使用者之設備使用狀況。 1.1.2.3確認. 自己是本時段之合法使用者。（請檢閱NDL 對外服務系統內之設備預約狀態） 1.1.2.4.以MES 系統開啟登入欲使用之化學槽。