毕业设计论文-氮化硅涂层的喷涂温度对多晶硅铸锭质量的影响.docVIP

氮化硅涂层的喷涂温度对多晶硅铸锭质量的影响 摘 要 制备太阳能级多晶硅过程中需要使用坩埚。工业中通常使用的坩埚是石英或石墨坩埚，熔融硅与坩埚接触时不可避免的产生反应粘连，同时坩埚中的杂质也会进入硅熔体中。高浓度的杂质，如C、O、Fe等将使少子寿命显著降低，影响电池性能。通常在坩埚上涂敷涂层使熔体与坩埚壁隔离，来减少反应粘连使铸锭顺利脱模，并阻止坩埚中的杂质在铸造过程中进入硅中。 本文利用多晶硅铸锭过程中喷涂的变化来研究氮化硅涂层对硅锭脱模效果的影响以及通过少子寿命来分析涂层对杂质的隔离效果。影响喷涂效果的主要因素，有效阻止杂质进入硅锭中，又能脱模效果。 ：多晶硅铸锭，喷涂，脱模，杂质少子寿命 The nfluence of Silicon Nitride Coating and Spraying Temperature to The Quality of The Multicrystalline Silicon Ingot ABSTRACT we need to use of crucibles in the process of fabricate solar grade multicrystalline silicon.Typically graphite or quartz crucibles have been used as support of melting si