仪器设备作业标准CF-C05前段化学清洗蚀刻工作站文件制修订记录.PDFVIP

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2018-05-20 发布于天津
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仪器设备作业标准CF-C05前段化学清洗蚀刻工作站文件制修订记录.PDF

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仪器设备作业标准CF-C05前段化学清洗蚀刻工作站文件制修订记录

文件編號 S3-NL05 DOCUMENT NO. 總頁數共 42 頁 TOTAL PAGE 文件名稱儀器設備作業標準 (CF-C05前段化學清洗蝕刻工作站) TITLE 機台名稱： Wet Bench-前段化學清洗蝕刻工作站機台編號： CF-C05 制訂部門：微影光罩組制訂日期： 2011/06/01 文件制修訂記錄 NO 發行日期修訂申請書編號制修訂內容修訂頁次版本 01 20 11/06/ 10 100-DC 11 制定初版 01 02 2013/07/01 102-DC09 修改表首 logo及制訂部門名稱 All 1.2 修改 03 04 05 06 07 08 核准審查制訂 DOCUMENT NO. ： TITLE ：儀器設備作業標準 (CF-C05前段化學清洗蝕刻工作 S3-NL05 站) ISSUE DATE 2013/07/01 REVISION 1.2 PAGE 第 1 / 42 頁一、目的：定義Wet Bench 前段化學- 清洗蝕刻工作站操作規範，以確保操作品質。二、範圍：適用於前段清洗製程及濕式蝕刻製程。三、權責： 1. 組織權責：工程師負責制定及修改規範。 2. 執行人員資格：經過 Wet Bench前段化學- 清洗蝕刻工作站訓練及考核通過之人員。四、名詞定義：無五、相關文件：無六、標準作業程序： 1.作業前確認項目如下： 1.本化學清洗蝕刻工作站，為前段製程專用；欲使用者務需確認，所持有之晶圓確為前段製程流程後，方可進入本機台操作。 2.機台狀況確認： 1.檢查設備是否可正常運作，機台上掛有設備狀況顯示：綠牌即為設備正常運轉中；紅牌為設備維修中。 2. 檢查設備使用記錄表，確認先行使用者之使用狀況 3.確認自己是本時段的合法使用者。（請檢閱 NDL 預約系統）工作日：代工製作組優先；夜間、國定假日：以NDL預約系統預約者優先。