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* * 势垒电容 CT 2.5 PN 结的势垒电容 PN 结电容 扩散电容 CD 本节主要内容:势垒电容形成的机理; 导出突变结、线性缓变结和实际扩散结的势垒电容的计算方法。 2.5.1 势垒电容的定义 当外加电压有 ( - ?V ) 的变化时,势垒区宽度发生变化 ,使势垒区中的空间电荷也发生相应的 ?Q 的变化 ,如下图。 P区 N区 PN 结势垒微分电容 CT 的定义为 简称为 势垒电容。 (2-126) (-?Q )与(+?Q )虽然是由空间分布的电荷所构成,但由于 ?xp 与 ?xn 远小于势垒区总宽度 xd ,所以可将这些电荷看作是集中在势垒区边缘无限薄层中的面电荷。于是,PN 结就像一个普通的平行板电容器一样。所以势垒电容 CT 可以简单地表为 有时也将单位面积的势垒电容称为势垒电容。即: (2-127) 2.5.2 突变结的势垒电容 于是可得: 式中, (2-130) 根据势垒电容的定义, 势垒区总宽度 xd 可以表为 将上式代入平行板电容器公式的式(2-127) ,可以得到与式(2-130)相同的结果,即 对于 P+N 单边突变结, 对于 PN+ 单边突变结, 可见:CT 也是取决于低掺杂一侧的杂质浓度。 当外加较大反向电压时,可将 Vbi 略去,这时 2.5.3 线性缓变结的势垒电容 当外加较大反向电压时, 实际扩散结势垒电容 CT 的计算 方法二:将实际扩散结近似看作单边突变结或线性缓变结,然后用相应的公式进行计算。 方法一:直接查曲线(附录中的附图 1)。 2.5.4 实际扩散结的势垒电容 反之,则可近似看作线性缓变结,在计算 CT 时需要已知在结深 xj 处的杂质浓度梯度 a( xj ) 。这时应先通过求解方程 或查图 2-46 求得 xj , 也可直接查图 2-48 得到 a( xj ) 。 当结两侧掺杂浓度相差很大,N0 很小,a 很大,xj 很小,xd 很大(反向电压很大)时,可近似看作单边突变结,在计算 CT 时需要已知低掺杂一侧的杂质浓度,即衬底浓度 N0 。 再由下式求出 a(xj) : 图 2-48 例 2.2 由附图 1 (c) : 按突变结计算: 按线性缓变结计算: 例 2.3 由附图 1 (a) : 按突变结计算: 按线性缓变结计算:
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