基于并联机构的空间3-rpc型柔顺微动精密定位平台的研究-research on spatial 3 - rpc compliant micro-motion precise positioning platform based on parallel mechanism.docxVIP

优秀毕业论文 精品参考文献资料 摘 要 近年来，随着科技发展微定位技术受到越来越多关注并在精密机械制造、加工、装 配、微机电系统（MEMS）、精密光学、生物医学工程等领域中广泛应用。这些领域对精密 定位系统的要求也越来越高：不仅要求系统具有良好运动特性、高精度的定位精度还要系 统具有快速的响应时间，因此，研究一种柔顺并联机构应用于精密定位平台系统有着广阔 的应用前景和发展潜力。 本文主要对精密定位平台传动机构及控制系统研究，设计以压电陶瓷驱动， 3 ? RPC 型柔顺并联机构作为精密定位平台的传动机构，采用常规 PID 控制方法结合微位移检测装 置构成精密定位平台系统。 基于并联机构螺旋理论基础对 3 ? RPC 型并联机构构型及运动特性进行分析，结合柔 性铰链特性研究设计了 3 ? RPC 型柔顺并联机构，对柔顺支链采用整体式设计与传统支链 结构相比消除了传动中的装配误差、间隙、及机械摩擦，提高了机构定位精度。 运用虚功原理建立了柔顺并联机构静刚度模型；利用 Solidworks 软件建立了柔顺并联 机构模型，利用 ANSYS 软件对机构进行静力学仿真得出机构仿真输出位移，为实验设计 提供对比依据；由机构静刚度模型结合仿真分析得出机构静刚度矩阵。 精密定位平台控制系统采用常规 PID 控制。在对硬件系统设计的基础上分析研究了压 电陶瓷驱动器的工作原理及其迟滞、蠕变、非线性等特性；建立了精密定位平台控制系统 模型设计了平台 PID 控制器并进行了仿真。 搭建了精密定位平台实验系统进行实验验证，对压电陶瓷定位精度及平台定位精度进 行了测试，分析了定位系统误差来源及产生原因。测量结果验证了精密定位系统设计分析 的合理性。 关键词：精密定位；柔顺并联机构；运动控制；有限元分析 II Abstract In recent years, micro-positioning technology has been getting more attentions with the development of technology. This technology has been widely used in the field of precision machinery manufacturing, processing, assembly, micro-electromechanical systems (MEMS), precision optics, biomedical engineering. These areas requirements more and more high-precision positioning system. They not only requires that the system has good movement characteristics, high-precision positioning accuracy but also the system has a fast response time. Therefore, to research one complaint parallel mechanism which use in precision positioning platform system has broad application prospects and development potential. The transmission mechanism and control system for precision positioning platform has been researched in this paper. The precision positioning platform system drives by piezoelectric ceramic, 3-RPC complaint parallel mechanism use as a transmission mechanism for precision positioning platform. This platform system uses conventional PID control method combined the micro displacement detection device as its control system. This paper analysis 3-RPC parallel mechanism configuration and motion characteristics based on parallel mechan