Libo－第五章 电容式传感器.pptVIP

电容式传感器是将被测参数变换成电容量的测量装置。 优点： 测量范围大：金属和半导体的△R/R：1%，10%， △C/C：100%以上 灵敏度高：用比率变压器电桥，可测△C达10-7 动态响应好：可动电极的质量可做的很小 机械损失小：静电力很小，mN级，无摩擦，热效应很小 结构简单、适应性强：易于制造，无机材料，适应恶劣环境 可以实现非接触测量、具有平均效应：如回转轴振动或偏心率或轴承的径向间隙；减小局部加工误差的影响 缺点： 输出阻抗高、负载能力差 传感器的电容量受电极几何尺寸限制，一般为几十到几百PF，使传感器输出阻抗很高，尤其当用音频范围内的交流电源时，输出阻抗高达106～108?，且功率小（P=U2ωC）。故传感器负载能力差，易受外界干扰影响。 寄生电容影响大 传感器的初始电容量很小，而传感器的引线电缆电容、测量电路的杂散电容以及传感器极板与其周围导体构成的电容等“寄生电容”却较大，这一方面降低了传感器的灵敏度；另一方面这些电容(如电缆电容)常常是随机变化的，使传感器工作不稳定，影响测量精度。 （一）工作原理 （二）主要性能 （三）等效电路 （四）设计要点 （五）测量电路 （六）典型应用 （一）工作原理 （二）主要性能 （三）等效电路 （四）设计要点 （五）测量电路 （六）典型应用 （一）工作原理 （二）主要性能 （三）等效电路 （四）设计要点 （五）测量电路 （六）典型应用