光电检测第五章.pptVIP

莫尔条纹由光栅的大量刻线形成, 对线纹的刻划误差有平均抵消作用, 几条刻线的栅距误差或断裂对莫尔条纹的位置和形状影响甚微。能在很大程度上消除短周期误差的影响。 例：W=0.02mm, 接收元件尺寸10×10mm2,在10mm范围内有500条刻线参与工作，某几条刻线误差对莫尔条纹位置和形状基本无影响。 莫尔条纹特征： 1）平均效应 光电直接检测系统举例 2）对应关系：当指示光栅沿与栅线垂直的方向作相对移动时，莫尔条纹则沿光栅刻线方向移动（两者的运动方向相互垂直）；指示光栅反向移动，莫尔条纹亦反向移动。在图中，当指示光栅向右移动时，莫尔条纹向上运动。 光电直接检测系统举例 莫尔条纹的间隔 p1=p2=p时，根据 莫尔条纹有放大作用。 3）放大作用 当θ非常小时，可以将上式进一步简化为： 光电直接检测系统举例 两块光栅，一块作为定光栅固定不动，另一块作为动光栅，固定在被测的运动物体上。若被测物体沿光栅条纹排列方向移动光栅常数p的距离，则莫尔条纹变化m，所以莫尔条纹将位移放大了1/θ倍。 莫尔条纹的放大倍率仅取决于两个光栅之间的角度，在测量中可以根据测量精度的需要任意调整。 测量微小位移 例，对25线/mm的长光栅而言，P＝0.04mm，若θ=0.016rad，则B=2.5mm.，光敏元件可以分辨2.5mm的间隔，但无法分辨0.04mm的间隔。 ? 计量光栅的光学放大作用与安装角度有关，而与两光栅的安装间隙无关。莫尔条纹的宽度必须大于光敏元件的尺寸，否则光敏元件无法分辨光强的变化。 光电直接检测系统举例 将m≈p /θ做微分运算，并改写成有限变量的形式 测量微小角度 根据上式可以动光栅与静光栅之间角度的微小变化量。例如，光栅常数为p=0.002mm,两块光栅的角度为θ=0.01°，当动光栅与静光栅之间的角度发生Δθ=1″的变化量时，莫尔条纹宽度从11.459变到11.149，莫尔条纹的变化量为Δm=0.31，这一变化量是很容易测量的。 光电直接检测系统举例 4）莫尔条纹移过的条纹数与光栅移过的刻线数相等。例如，采用100线/mm光栅时，若光栅移动了x mm（也就是移过了100×x条光栅刻线），则从光电元件面前掠过的莫尔条纹也是100×x条。由于莫尔条纹比栅距宽得多，所以能够被光敏元件所识别。将此莫尔条纹产生的电脉冲信号计数，就可知道移动的实际距离了。 莫尔条纹特征： 光电直接检测系统举例 光电传感器输出信号波形 当光栅相对位移一个栅距时，莫尔条纹移动一个条纹宽度，相应照射在光电池上的光强度发生一个周期的变化，使输出电信号周期变化，其输出波形如图： 由此可知，只要计算输出电压的周期数，便可测出位移量。从而实现了位移量向电量的转换。在一个周期内，输出波形的变化是位移在一个栅距内变化的余弦函数，每一周期对应一个栅距。 但是如果只用一个光电元件，其输出信号还存在两个问题： ① 辨向问题：用一个光电元件无法辨别运动方向； ② 精度低；分辨力只为一个栅距P。 光电直接检测系统举例 辨向原理： 用两个光电元件相距B/4安装（相当于相差90°空间角，B: 2π=B/4: π/2），如图所示，可以解决辨向问题。 当条纹上移时，V2落后于V1 90°。 当条纹下移时，V2超前于V1 90°。 因此，由V1、V2之间的相位关系可以 判别运动方向。 光电直接检测系统举例 四倍频细分判向原理 指示光栅相对于长光栅移过一个节距莫尔条纹变化一周.工作台进行长度测量时,指示光栅的移动距离为 x=NP+δ 其中P为光栅节距,N为指示光栅移动距离中包含的光栅线对数; δ为小于1一个光栅节距的小数. 最简单的形式是以指示光栅移过的光栅对数N直接进行计数. 但实际系统并不单独计数,而是利用电子学的方法,把莫尔条纹的一个周期进行再细分,于是可以读出小数部分,使系统的分辨能力提高.电子细分可分到几十分之一到百分之一. 细分方法有:幅值分割、周期测量、倍频、移项、函数变换等方法。 常见的四倍频细分判向原理 细分技术（解决精度问题） 当使用一个光电池通过判断信号周期的方法来进行位移测量时，最小分辨力为1个栅距。为了提高测量的精度，提高分辨力，可使栅距减小，即增加刻线密度。另一种方法是在双光电元件的基础上，经过信号调节环节对信号进行细分，其电路框图如图所示。 莫尔条纹的应用 莫尔条纹测长仪分长光栅和圆光栅两种，光刻密度相同，通常为25，50，100，250条/mm。被广泛地应用于： 光栅数显表 光栅传感器在位置控制中的应用 轴环式数显表 机械测长和数控机床中。 代表性产品： 德国Heidenhain（海德汉）： 封闭式：量程3000m