复合稀土—钼金属陶瓷阴极材料的研究与应用3.pdf

攒蛰 辅尊 本文利用我国富有的稀土和钼资源，制各了可替代有放射性污染的钍一钨阴极作 为磁控管阴极的复合稀土氧化物一钼(REzOz—Mo)阴极材料。利用高分辨透射／扫描电 子显微、x-射线能谱、高温XPS等先进分析方法，深入研究了复合稀土氧化物一钼 (RE：0。一Mo)阴极材料的结构、显微组织、激活过程中活性元素变化，为该阴极制备 工艺的进一步改进和实际应用提供了理论依据和实验指导。 制备含量大于15％的稀土氧化物一钼粉时宜用稀土硝酸盐和MoOz为原料实施液一 固掺杂，在还原前必须增加单独分解的工序，然后按M003的两段还原工艺进行还原 50％的粉末粒度可达到纳米级。 采用常规烧结工艺制备的三元复合稀土氧化物一钼次级发射体在降低稀土氧化物 总含量情况下，其最大次级发射系数仍高于单元稀土氧化物一钼次级发射体。采用SPS 规烧结的明显细化。最大次级发射系数达2．80，比CIP—S烧结体的最大次级发射系 数提高了14．29％，但相应的最佳激活温度提高了200。C。该阴极材料在高温激活过程 中烧结体内的稀土氧化物将向材料的表面富集，在表面形成的网状覆盖层，层厚度可 达2um。由于快速烧结的时间短，保留在烧结体中的氧原子在高温激活过程中将向 表面扩散，使表层的钼氧化，氧化物蒸发产生的孔洞将使次级发射的有效面积减少， 使次级发射系数降低。 在RE：魄含量为20％wt的三元稀土氧化物一钼阴极材料中加入微量的铼(0．5％wt)， 可使其最大次级发射系数提高8％，达到2．65，相应的最佳激活温度降至1200℃。对 复合稀土氧化物一钼系列阴极材料进行了原位暴露大气实验，结果表明复合稀土氧化 物一钼系列阴极具有暴露大气后可重新激活的工艺特性。 验管进行了剖析。具有稳定发射的阴极表面，存在着一定厚度的稀土氧化物富集层， 在富集层上弥散分布着大量的La20。、Y203活性纳米粒子，该阴极具有高的最大次级发 射系数应与表面稀土氧化物的富集量和活性纳米粒子的弥散分布量有关。 =3：l：1)的三元复合稀土氧化物一钼烧结体中La3+离子以代位形式置换了 复合稀土氧化物的结构仍为体心立方。La的代位造成了位错等微观缺陷的产生。稀 土氧化物有两种存在形式。一种是以微米形式与金属钼相间分布，另一种是以纳米粒 子的形式分布于金属钼的基体中。钼与复合稀土氧化物的界面高分辨晶格像表明两者 结合良好，有利于稀土元素的界面扩散迁移，提供足够的阴极表面的活性物质，补偿 l#意工盈文学工学薄士学位搪空 fill lllllll lIHlllllllllll II 阴极袭面上活性物质的损耗。 对含量为25％wt豹单元褥主筑纯物Y斌一黔羁含量为20％Wt豹三元繇±氧纯物一 零文运用氧化物阴极的半鼯体理论对稀主氧化物一镪弱极的次级发射现象进行 了分耩，嗣薅谈为滚蟊蔌氧委稀圭氧纯耪绫米粒子薅次缓发魏超了程逡终霜。静在激 活好的阴极表面存在着缺氧型活性的稀土氧化物纳米粒予(LaO，、YO，蒋(x3／2))， 它们的量对次级发射系数提高超重要作用。发射电子后的纳米粒子对基体表面形成最 自壤黔戆偶电场，键进了二次魄予囊钵癸熬热速运动，酶懿了基髂运袭巍氧恁甥薄屡 的势蹙，有益于二次电子向表蕊的逸出。复合稀土氧纯物～铸阴极中两福均通过上述 机理参与次级发射，微米级稀±氧化物和钢繁中分布的纳米级稀土氧化物都是表面活 性物质的补充源。 实骢结果表明钢稀土氧化物阴极与钡钨阴极制成的20555cm同轴磁控臀电参数相近， 钼基稀土氧化物阴极材料的输出功率和频谱宽度均达到了实际应用的婺求。 关键谪： 稀土氧化物：铝；阴檄：次级发射：磁控管 Abstract Abstract forthecathodeofthe tubesto radioactive RE203。Mo magnetron replace氇e ofthe