中频反应溅射SiO_2膜与直流溅射ITO膜的在线联镀.pdfVIP

第 5 期 　　　　　　　　　　　　　　　　　　真　空　　VACUUM 2002 年 10 月 15 中频反应溅射 SiO2 膜与直流溅射 ITO 膜的在线联镀 1 2 1, 3 2 1 1, 3 1, 3 1, 3 2 许生 , 侯晓波 , 范垂祯 , 赵来 , 周海军 , 吴克坚 , 高文波 , 颜远全 , 查良镇 ( 　　　　　 1 深圳豪威光电子股份有限公司, 广东　深圳　518057; 　2 清华大学电子工程系, 北京　100084; 　　　　　 3 深圳市真空技术工程研究开发中心, 广东　深圳　518057) 摘　要: 多数 ITO 透明导电玻璃生产线在实现 SiO 2 膜与