热蒸镀机(Thermal coater).pdf

热蒸镀制程 薄膜沈积机制(Deposition Mechanism) 薄膜的成长是一连串复杂的过程所构成的。首先到达基板的原子 必须将纵向动量发散，原子才能『吸附』(adsorption)在基板上。这 些原子会在基板表面发生形成薄膜所须要的化学反应。所形成的薄膜 构成原子会在基板表面作扩散运动，这个现象称为吸附原子的『表面 迁徙』(surface migration)。当原子彼此相互碰撞时会结合而形成 原子团过程，称为『成核』(nucleation)。 原子团必须达到一定的大小之后，才能持续不断稳定成长。因此 小原子团会倾向彼此聚合以形成一