PVD工艺手册资料(整理）.doc

第一章：真空科学的发展及应用 1、真空的含义及特点 在真空科学中，真空的含义是指容器内低于一个大气压的空间，或者说是在给定的空间内低于一个大气压力的气体状态。人们通常把这种稀薄的气体状态称为真空状况。这种特定的真空状态与人类赖以生存的大气在状态相比较，主要有如下几个基本特点： （ 1 ）真空状态下的气体压力低于一个大气压。 因此，处于地球表面上的各种真空容器中，必将受到大气压力的作用，其压强差的大小由容器内外的压差值而定。由于作用在地球表面上的一个大气压约为 10135N/m2，当容器内压力很小时，则容器所承受的大气压力可达到一个大气压。不同压强下单位面积上的作用力，如表 1 所示。 表