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3.3 干法刻蚀
3.3.1 Dry Etch 安全教育
3.3.2 Dry Etch 概要及工艺
3.3.3 Dry Etch设备概要
3.3.4 Dry Etch设备真空系统
3.3.1 Dry Etch 安全教育
3.3.1.1 LCD Etching装置存在的潜在危险：
电气危险：三相AC200V、AC100V、高频用（RF）Matching Box约
1万伏。
机械危险：产业用Robot、Chamber cover的开闭、motor和timing
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