电解液栅型碳纳米管场效应晶体管的实验研究.pdf

维普资讯 2005年 1月 重 庆 大 学学报 (自然科 学版 ) 第28卷第 1期 JournalofChongqingUniversity(NaturalScienceEdition) Vo1 ． 28 No．1 — — 文章编号：1000—582X(2005)Ol一0149—04 电解液栅型碳纳米管场效应晶体管的实验研究 吕建 伟 一，王 万 录 ，廖 克 俊 ，王 永 田 ，万 步 勇 ，孔 纪 兰。 (1．重庆大学 应用物理系，重庆 400030； 2．重庆 日报报业集团，重庆 400010；3．重庆大学 材料科学与工程学院，重庆 400030) 摘 要：由于碳纳米管具有独特的结构和性能，因而一直受到人们的关注。对于包括碳纳米管场效 应管在 内的分子元件的研究方面尤其令人注 目。笔者研究了具有 电解液栅的碳纳米管场效应 晶体管， 研究中所用的碳纳米管是用热灯丝化学气相沉积法(CVD)合成的。村底材料是平面玻璃，Fe／Ni混合 物用作催化剂。对具有Ag电极的多壁碳纳米管晶体管作了优化设计制造，并利用KCI溶液作为栅极。 实验结果表明，电解液栅型碳纳米管晶体管(FET)呈现 出良好的电流一电压特性曲线。在栅压2v时。 其跨导约为O．5mA／V。并对获得的研究结果进行 了讨论。 关键词 ：碳纳米管；场效应晶体管；电解液栅极 ；I—V特性 ；跨导 中图分类号 ：TN112 文献标识码 ：A 碳纳米 管 (Carbonnanotube)是 1991年 由 日本 效应现象 。通过对碳纳米管膜 的伏安特性进行进 NEC科学家饭岛澄男 (SuminoIijima)博士发现的一种 一 步的研究发现 ：利用 电解液对碳纳米管膜所施加 的 碳结构…。理想 的碳纳米管是 由碳原子形成 的石墨 栅极电压对流经碳纳米管膜两端的电流强度有明显的 烯片层卷成的无缝、中空的管体。由于具有较大的长 控制作用 ，即具有显著 的场效应特性。这一研究将进 径 比，碳纳米管(尤其是单壁碳纳米管 ，SWNT)是典型 一 步拓宽碳纳米管在电子、机械、医药 、能源 、化工等工 的一维纳米材料 ，并呈现 出良好 的导体或半导体特 业技术领域的应用前景。 性 -3]。自碳纳米管发现 以来 ，由于其结构 的特殊性 1 实验及结果 使得碳纳米管具有许多特殊性能，受到了全球科学家 的广泛关注。但由于制造与加工技术的制约，对其应 在本实验中，碳纳米管是用热灯丝化学气相沉积 用研究进展仍较为缓慢。 法 (CVD)制备的，用抛光的 Si单晶片用作衬底材料。 近年来 ，随着制造与加工技术的不断发展 ，碳纳米 以纯度大于99．99％的高纯 Ni和 Fe(比例为 1：1)作 管很快就成为了研究得最多的纳米材料。以碳纳米管 为溅射靶材 ，利用射频溅射法在 si单晶片上生长一层 为单元所进行的纳米器件研究工作十分前沿。人们正 厚度约20nm 的Ni／Fe薄膜作为催化剂。将覆盖着 试图利用碳纳米管来制作二极管、三极管、场效应管 Ni／Fe薄膜的Si单晶片置于 C