激光器水冷机关键技术分析-key technology analysis of laser water cooler.docx

第一章绪论1962年，科学工作者根据前苏联科学家巴索夫的半导体激光器理论，制造成了世界上第一台GaAs半导体激光器。经过近半个世纪的发展，半导体激光器经历了最初的同质结、单异质结、双异质结型，到后来的半导体量子阱型，1978年世界上第一只半导体量子阱激光器(QWL)问世，量子阱型半导体激光器又从布里-玻罗谐振腔型发展到分布式反馈型、垂直腔型等结构形式。半导体激光器的产生，不仅带动了光通讯技术的进步，也带动了整个激光技术的的升级，在当今工业加工制造、通讯、医疗和军事等领域中，半导体激光器成为应用最为普遍的激光器件。§1-1半导体激光器简介半导体激光器（Semiconductorlaserdiode，简称LD）是使用直接带隙半导体材料构成的PN结或PIN结作为工作本体，使其产生受激辐射，再利用谐振腔提供的光反馈制作的一类半导体器件；常用的半导体材料有砷化钾（GaAs）、硫化镉（CdS）、磷化铟（InP）、硫化锌（ZnS）等[1]。激励办法包括PN结电流注入激发、电子束激励和光激励三种形式，第一种激发形式的器件称为注入型半导体激光器或激光二极管，是半导体激光器的主要种类应用广泛，第二、三种激发形式的器件不易于推广应用。半导体激光器具有体积小、重量轻、输入电压小、结构简单、寿命长、转换效率高、功耗低、价格低廉、易于调制等有利因素[2]。同其它固体、气体等品种的激光器比较，以半导体为工作物质的半导体激光器具有如下的独一无二的好处：（1）体积小重量轻，方便和其他设备组装改造。（2）电流注入的激励方式使连续工作变得简单，而且激励电流低，使用普通晶体管电路方便驱动。（3）电光转换效率高，将电能转化为光能的效率能够达到50%以上。（4）有效使用时间长，大功率半导体激光器使用寿命能够超过一万小时，传递信息的光纤半导体激光器使用寿命超过几十万甚至几百万小时。（5）可以高于2万兆赫兹的频率上直接调制抽运电流，然后实现调制输出。这些优异的特性使得LD在光通信、光信息存取、激光印刷与复印、泵浦大功率固体激光器、激光材料加工、激光武器、测距、激光雷达、生物和医学等领域获得了非常广泛的应用[3]。例如，信息技术正在深刻地影响着国民经济和国防建设的各个领域，LD已经用于光盘存储器，其最大优点是存储信息量很大；远红外可调谐LD用于环境气体分析，检测大气污染、汽车尾气等；表面发射LD是光并行处理系统的理想光源，可用于光计算和光神经网络等。从上世纪70年代末开始，半导体激光器显而易见朝着两个领域发展，一类是用于传递信息的光纤激光器，另一类是致力于增大光功率为的功率型激光器。伴随着半导体激光器功率的逐渐提高，激光器内部的温度变化对激光器的各种性能指标的影响越来越明显了，所以工程实践中对半导体激光器温度的控制变得越来越关键。本文温度控制系统的研究对象是中小型功率的半导体激光器，当今中小型功率的半导体激光器在工农业生、医疗领域和国防建设方面应用日渐普遍，所以本研究课题具有相当可观的现实意义。§1-2温度对半导体激光器特性的影响尽管半导体激光器是一种理想的电子—光子直接转换器件，具有非常高的量子转换效率，但是由于存在着非辐射复合损耗、自由载流子吸收等损耗机制，使其微分量子效率只能达到20%-30%，这意味着相当部分注入的电功率将转化为热量，引起激光器温度升高[4]。随着半导体激光器温度的升高，激光器的阈值电流不断升高、输出功率将会减小、发射波长产生红移现象，造成模式的不稳定、内部缺陷变多、使器件的使用寿命大大降低，严重的限制了它的广泛使用。如果激光器工作转化的热量不能够及时的带走，影响激光器的性能，产生恶性循环，使激光器很快失效。所以，有必要使半导体激光器工作再一个温度恒定的环境中。以下从几个方面简述温度变化对半导体激光器的特性的影响：1．温度对阈值电流密度的影响阈值电流Ith是半导体激光器管芯开始发生受激辐射时的电流值。管芯的阈值电流密度Jth随着温度的上升显著的变大，一方面会降低输出功率，另一方面最大连续工作功率也都到局限。温度对Jth的影响，可以认为是由于较高的温度会带来较大的漏电流、较大的吸收损耗等。根据实验测定，阈值密度电流与温度存在指数关系[5]:J(T)=J(T)exp(T?Tr)（1-1）Tththr0其中Jth(Tr)表示室温下的阐值电流密度，是一常数，不同的激光器具有不同的值。T0是特征温度，表示阐值电流对温度的敏感程度。图1.1曲线表示阈值电流随温度的变化情况。图1.1阈值电流随温度变化Fig.1.1Thresholdcurrentwithtemperature2．温度对输出功率的影响随着半导体激光器有源区温度的上升，载流子的非辐射复合变得剧烈，注入的载流子往往变成热能，PN结的温度上升，热阻也随之上升，激光器的平均输出功率和最大输出功率都将会下降，功