激光切割电容式z浮微小电容检测系统的分析-analysis of laser cutting capacitive z floating micro-capacitance detection system.docx

独创性声明本人声明所呈交的学位论文是我个人在导师指导下进行的研究工作及取得的研究成果。尽我所知，除文中已经标明引用的内容外，本论文不包含任何其他个人或集体已经发表或撰写过的研究成果。对本文的研究做出贡献的个人和集体，均已在文中以明确方式标明。本人完全意识到本声明的法律结果由本人承担。学位论文作者签名：日期：年月日学位论文版权使用授权书本学位论文作者完全了解学校有关保留、使用学位论文的规定，即：学校有权保留并向国家有关部门或机构送交论文的复印件和电子版，允许论文被查阅和借阅。本人授权华中科技大学可以将本学位论文的全部或部分内容编入有关数据库进行检索，可以采用影印、缩印或扫描等复制手段保存和汇编本学位论文。本论文属于保密□，在年解密后适用本授权书。不保密□。（请在以上方框内打“√”）学位论文作者签名：指导教师签名：日期：年月日日期：年月日1绪论1.1选题背景及研究意义自60年代激光器问世以来，经过半个世纪的发展，激光技术已经在国防、工业、医疗等领域扮演越来越重要的角色。在工业上，激光技术主要被应用于切割，打标，焊接及表面热处理等领域。由于具有切口光洁，切割速度快，精度高；非接触式加工，无工具磨损，对工件无机械作用；切割时热影响区小，导致热畸变程度低；切割噪声小；切割过程容易实现自动化控制，可实现精密加工；切割范围广，可切割任意图形等优势，激光切割成为激光加工行业中最重要的一项应用技术，应用更为广泛[1~3]。在未来的机械加工制造领域里，作为激光切割行业发展最快的现代化切割设备之一——高精度的数控激光切割机，应用前景将无可限量，与之配套的激光切割自动聚焦跟踪设备也将具有非常广大的市场。激光切割过程中，为了保证切割质量，一般要求激光束焦点落在金属工件表面以下约1／3板厚的地方，并在加工过程中保持不变，只有这样才能保证最佳切割效果。但实际加工过程中，由于工件表面的凹凸不平，或环境导致的工件表面轻微热变形，工件的装夹方式，机床本身的不平整，机床在负载力下的变形等，使得激光束焦点与工件间的相对位置，即离焦量发生改变。因此，激光焦点位置的实时检测与控制，成为激光切割加工中的一项关键技术[4]。由于激光束光轴方向为Z轴，机床加工平面为XY，故配备了激光自动聚焦装置的激光切割头我们称为激光切割式Z浮。它能根据工件表面的起浮驱动激光切割头自动调整激光束自动聚焦位置。激光切割式Z浮一般由切割头一体化传感器、小信号检测系统、计算机控制系统以及伺服电机组成。切割头一体化传感器采集切割头喷嘴与工件间实时间距，经高精度小信号检测系统将传感器的电容量变化转换为易于读取和处理的模拟信号（电压或电流的形式），包含切割头喷嘴与工件实时间距信息的模拟信号，经计算机控制系统的模数转换，算法拟合，数模转化等，相关数模转换信息驱动伺服电机使得激光切割头做机械微位移的转动，调整激光束聚焦位置。按照传感器的工模式划分，Z浮分为接触式和非接触式两大类。接触式Z浮工作稳定，相应的信号检测电路也很简单，且抗干扰能力强，不受待切割材料种类的限制。但只适合切割平面，不能满足复制的仿形切割要求，否则切割头容易卡死，且触头工作环境差，易受高温影响。非接触式Z浮机械结构较为简单，但信号检测电路调试复杂，抗干扰能力差，且易受切割材料种类的限制[5]。按照所使用位移传感器分，Z浮可分为频率电感式位移传感器和电容式位移传感器。频率电感式位移传感器由于其固有特性，响应频率较低，一般为几百HZ，不太适用于高速加工场合。同时，由于其为接触式检测方式，不能适用于3维加工这样需要非接触检测的场合。电容传感器，具有结构简单，响应速度快，检测精度高，工作可靠，适合于动态测量，并能在高温、辐射和剧烈振动等恶劣条件下工作等优点[6]，但在使用过程中易受激光切割加工过程中产生的喷渣和等离子云的干扰，并存在一定的非线性误差[7]。从国内外一些产品的样本，以及技术领先性、可靠性和经济型来看，最具优势的还是采用电容式位移传感器。目前，国内市场上的带有Z浮高度跟随控制机制的激光切割头大都从国外进口，如Hypertherm、Precitec等，其中以德国Precitec公司生产的LasermaticZ系列最为知名，可用于CO2-2D切割、CO2-3D切割和Nd:YAG-3D切割。但其价格昂贵——通常都在10000美元以上。自90年代后期，该领域的研究开始得到国内学者关注。至今，国内一些激光公司陆续推出自己的激光切割Z浮，根据对部分公司的样品观测及实验分析，存在问题为：(1)检测精度不够高；(2)切割头结构设计不合理，切割过程中易被激光烧坏；且易受环境影响，遇高温传感器表面损坏严重；(3)自动聚焦功能时，电机抖动厉害；(4)自动聚焦装置使用寿命较短；(5)激光切割头自动聚焦装置的使用一般都分为手动聚焦和自动聚焦功能，即大多数时间仍