薄膜光学技术 知识-3-1第三章 薄膜制造技术 知识.pptVIP

第三章 薄膜制造技术;薄膜的制备方法;湿法制备薄膜工艺简单，制造成本低，但膜层厚度不能精确控制，膜层强度差，较难获得多层膜，有污染。 干法制备薄膜需要使用真空镀膜机，制造成本高，但膜层厚度可以精确控制，膜层强度好，无污染，已广泛采用。;PVD技术;3.1 真空及真空镀膜机;3). 真空PVD的优点;（2）真空与压强;真空的国际单位：Pa（帕） 常用真空单位还有：Torr（托）, mmHg（毫米汞柱)， mbar（毫巴），atm（大气压）; 目前尚无统一规定，常见的划分为： 粗真空，低，高，超高，极高。 粗真空 105-102 Pa 低真空 102-10-1Pa 高真空 10-1-10-6 Pa 超高真空 10-6-10-10 Pa 极高真空 10-10 Pa -;（3） PVD所需真空度;2. 真空镀膜机;真空系统 热蒸发系统 阻蒸 电子枪 膜厚控制系统 光电膜厚仪 石英晶体膜厚仪;3.2 真空获得与检测;3.2.1 ???空泵;真空泵主要性能参数：;2. 常见真空泵;(1). 常见真空泵的分类;超高真空;3. 旋片式机械泵;2)、工作过程;3). 工作原理;4). 性能指标;4. 油扩散泵;1). 结构 工作物质— 高纯真空油； 加热器— 为油汽化加热； 泵芯— 为油蒸汽导向； ;2). 工作原理;3). 性能;5. 罗茨泵;2).结构及工作过程;3).罗茨泵的特点;理论基础 根据气体分子运动论，气体分子碰撞到固体表面，在表面上停留的时间很短。如果处于气体中的固体表面以一定的方向运动，所有飞到表面的分子，经过碰撞后都具有一定的分速度，其大小与方向等于固体的速度。;工作原理 依靠高速运动的物体表面把定向速度传递给入射表面的气体分子，造成泵出口、入口的气体分子正向、反向传输几率的差异而产生抽气作用。（30000转/分）。;优点：无油，洁净，启动快，制动快，可忍受大气冲击。 缺点：由于高速旋转，不能在磁场中使用，否则会产生涡流，导致叶轮发热、变形等严重后果，对氢气等轻质气体抽速较小， 价格昂贵。;7. 低温真空泵; 低温冷凝：用液He冷却固体表面达4.2K，空气中除H2、He以外，大部分气体的饱和蒸气都低于1Pa，即空气中主要气体成分都会被冷凝，即达到抽真空的目的。 低温吸附：在低温表面上粘贴一些固体吸附剂，气体分子打到这些多孔的吸附剂上而被捕集。; ①.真正的无油真空泵：利用低温冷板来冷凝、吸附气体而获得和保持真空，清洁无污染； ②.抽速快：特别是对H2O、H2等气体抽速很大，因而排气速度比其他真空泵快，大大提高产品产出量； ③.运行费用低：运行时只需电力和冷却水，不需液氮等低温液体，操作简单方便； ④.适应性强：真空腔内无运动部件，来自外界的干扰或来自真空系统的微粒不影响低温泵工作； ⑤.可以安装在任何方位； ⑥.运动部件少且低速运行，寿命长； ⑦.可以达到10-7 Pa的极限真空度，甚至可达10-9 Pa。;3.2.2 高真空系统 ;2. 主要部分的作用;3.2.3、真空测量;3）. 原理  ——低气压（100~10-2）下气体的热传导与压强成正比。; 工作时，灯丝加热功率一定： 加热与散热达到热平衡， Q灯丝=Q1+Q2+Q3； 当气压变化时，灯丝温度随之变化，以保持平衡态。 显然，气压越高，平衡态所对应的灯丝温度越低。 因此，用热电偶测出灯丝的温度，就可以换算出相应的环境压强。;2.热阴极电离真空计;3). 原理;热阴极电离真空计的优点： （1）测出的是总压强； （2）反应迅速，可连续读数，可远程控制； （3）电离计就可测量到5х10-5Pa，如改进后可测量到10-7Pa （4）规管小，易于连接到被测量处； （5）电离真空计校准曲线直线范围宽，通常在10-1--10-5 Pa间； （6）对机械振动不敏感； 热阴极电离真空计的缺点： （1）灵敏度与气体种类有关； （2）压强大于10-1Pa时，灯丝易于烧毁；;3.冷阴极电离真空计;1).原理;2).冷阴极电离真空计的特性;本节必须明白的问题