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产经报告 电子特种气体
第一章 背景介绍
第一节 电子特种气体带动国内高新技术发展
电子工业是当今推动科技发展的高新技术产业, 由于所用气体
的品种多、质量要求高, 为有别于其它领域应用的气体, 人们把这类
在电子工业中用的气体统称为电子特种气体, 它是当今兴起的高技
术含量、高投入、高附加值的高新技术产业。
电子气体的应用领域主要在半导体集成电路生产制造、非晶硅太
阳能电池、液晶显示器件、光导纤维生产四大领域, 其中主要应用
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