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光学薄膜及其制备技术
范正修 2009年5月15 日
1
主要内容
薄膜概况
几种常用的光学薄膜元件
光学薄膜的设计
特种光学薄膜
薄膜的吸附及生长特性
光学薄膜的沉积技术
光学薄膜的均匀性及膜厚控制技术
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