高质量YBCO薄膜的沉积方法_孔梅梅.pdf

4 1 1 Vol. 4 1 No. 1 第 卷第 期 广 州 化 工 2013 1 Guangzhou Chemical Industry January. 2013 年 月 高质量YBCO 薄膜的沉积方法 ， ， ， ， 孔梅梅 张立永 王醒东 夏芳敏 林中山 ( ， 311400) 富通集团有限公司 浙江 富阳 摘 要: ， 。YBCO 超导材料具有潜在商业价值和广泛的应用前景 尤其是高温超导材料到人受到们的广泛关注 (YBa Cu O ) ， ， ， 。 2 3 7 － δ 超导材料具有高电流密度 低交流损耗等特点 其独特的物理性质 已经引起了广泛的关注 本文主要介绍了制 ， 、 ， 。 备薄膜的方法 包括物理法 化学法及其他方法 并对其工作原理及应用进行了介绍 关键词:YBCO ; ; ; 薄膜 溅射 制备 : : : 中图分类号 TM26 文献标识码 A 文章编号 1001 － 9677 (2013)01 － 0038 － 03 The Deposition Methods of High Quality YBCO Film KONG Mei － mei ，ZHANG Li － yong ，WANG Xing － dong ，XIA Fang － min ，LIN Zhong － shan (Futong Group Co. ，Ltd． ，Zhejiang Fuyang 311440 ，China) Abstract :Superconducting materials and technology were one of the high － new techniques with potential commercial value and promising applications ，especially ，high － temperature superconductor． YBCO (YBa Cu O )was concerned 2 3 7 － δ extensively because of unique physical property ，with high current density and low AC loss． The preparation methods of YBCO films were described ，for example ，the physical methods ，chemical methods and other methods． The principles of preparation and application of YBCO films were described． Key words :YBCO ;films ;sputtering ;preparation