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MEMS分析实例教程-压电材料分析.pdf
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心
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术
技
程
工
R
O
G
L
A
MEMS分析
问题描述 程技术公司
• 硅质材料：弹模＝112400MPa，密度＝2300Kg/m3，泊松比＝0.28，电容率＝11.8
科工
3 泰
• 金属：弹模＝200000MPa，密度＝7800Kg/m ，泊松比＝0.29
英吉
• 压电材料：极化方向：Z，极化弹模＝横向弹模80000MPa，剪切模量＝30
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