开管扩散炉使用说明书.doc

M5111-4W/UM型高温扩散/氧化系统 使 用 说 明 书 中国电子科技集团公司第四十八研究所 2006年9月 目 录 1．概述 （1） 1．1产品特点 （1） 1．2主要用途及适用范围 （1） 1．3品种、规格 （1） 1．4型号的组成及其代表意义 （2） 1．5使用环境要求 （3） 1．6工作条件要求 （3） 2．结构特征与工作原理 （3） 2．1总体结构 （3） 2．2分部件结构 （4） 2．3系统控制原理 （7） 2．4系统各主要单元功能结构及工作原理 （8） 3．主要性能指标 （10） 4．尺寸、重量 （10） 5．安装、调试 （11） 5．1安装条件 （11） 5．2安装程