退火温度对溶胶_凝胶法制备锌锡氧化物薄膜晶体管的影响_罗文彬.docVIP

------------------------------------------------------------------------------------------------ —————————————————————————————————————— 退火温度对溶胶_凝胶法制备锌锡氧化物薄膜晶体管的影响_罗文彬 第34卷第11期发光学报Vol.34No.112013年11月CHINESEJOUＲNALOFLUMINESCENCENov．，2013 7032（2013）11-1550-05文章编号：1000- 退火温度对溶胶-凝胶法制备锌锡氧化物薄膜晶体管的影响 罗文彬，陈文彬* （电子科技大学光电信息学院四川省显示科学与技术重点实验室，四川成都610054） DTA）对摘要：采用溶胶-凝胶法制备了非晶锌锡氧化物（ZTO）薄膜晶体管（TFT），通过热重-差热分析（TG- ZTO胶体中的化学反应进行了分析，研究了不同退火温度对ZTOTFTs性能的影响。结果表明：当退火温度在300～500℃范围内时，薄膜为非晶态结构，薄膜表面致密、平整。当退火温度达到400℃时，薄膜在可见光范 器件阈值电压明显降低，由15．85V降至3．76V，载流围内具有高透过率（＞85%）。随着退火温度的升高， 2－1－12