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地面彩色油膜 肥皂泡膜上的彩色条纹 n1 n2 n3 §19-4薄膜干涉 1. 等厚干涉 i a a’ b’ A B C 当一束平行光入射到厚度不均匀的透明介质薄膜上，如图所示，两光线 a’和b’ 的光程差： 当 i 保持不变时，光程差仅与膜的厚度有关，凡厚度相同的地方光程差相同，从而对应同一条干涉条纹--- 等厚干涉条纹。 利用薄膜上、下两个表面对入射光的反射和折射，在反射方向(或透射方向)获得相干光束(分振幅法) n1 n2 n3 i a a’ b’ A B C 薄膜干涉 光线垂直入射膜面， 光程差公式简化为： 等厚干涉 ：为因为半波损失而生产的附加光程差。 当光从折射率较小的介质传播到两种介质的分界面而被分界面反射时,反射波将产生 相位的跃变,即半波损失 n1 n2 n3 i a a’ b’ A C 当薄膜上、下表面的反射光都存在或都不存在半波损失时，其光程差为: 当反射光之一存在半波损失时，其光程差应加上附加光程 ?/2 ,即： 明纹 暗纹 明纹和暗纹出现的条件为： n2 n3 n1 对于油膜 对于肥皂膜 等厚干涉 研究等厚干涉问题的关键是： 1.确定研究的薄膜； 2.讨论半波损失； 3.写出相干光的光程差 4.讨论明纹和暗纹出现的条件 等厚干涉 2.增透膜和高反射膜 利用薄膜干涉使反射光减小，这样的薄膜称 为增透膜。 等厚干涉 多层高反射膜 H L ZnS MgF2 H L ZnS MgF2 增透膜和高反射膜 在玻璃上交替镀上光学厚度均为?/4的高折射率ZnS膜和低折射率的MgF2膜，形成多层高反射膜。 例: 在玻璃表面镀上一层MgF2薄膜,使波长为λ =5500 ?的绿光全部通过。求:膜的厚度。此时反射光呈什么颜色？ 解一：研究反射光。使反射绿光干涉相消 由反射光干涉相消条件 取k = 0 MgF2 玻璃 n2= 1.38 n1 =1.50 n0 = 1 δ = 2 n2 e = 996(?) n0 = 1 1 2 n1 n2 =(2k+1) λ/2 =996? 解二:研究透射光。 使透射绿光干涉相长 由透射光干涉加强条件： 1 2 n2 n1 n0 = 1 取k = 1 问题：此时反射光呈什么颜色？ 2n2e=kλ λ1=2n2e=8250? 取k=1 λ2=2n2e/2=4125? 取k=2 反射光呈现紫蓝色。 得 由 劈尖：薄膜的两个表面是平面,其间有很小夹角。 3.劈尖膜 等厚干涉 劈尖膜干涉光程差的计算 设干涉条纹对应的薄膜厚度为e { = 明纹 暗纹 空气劈尖膜干涉 …… 劈尖膜干涉条纹的特征 （1）明、暗条纹处的膜厚： 一系列明暗相间的、平行于棱边的平直条纹。 { = （2）相邻明纹（或暗纹）所对应的薄膜厚度之差 ?e = ek+1-ek = (2k+1)?/4n - (2k-1)?/4n = ?/2n 相邻明纹（或暗纹）所对应的薄膜厚度之差相同。 e k ek+1 ?e ? 明纹 暗纹 劈尖干涉条纹的特征 结论： b.夹角?越小，条纹越疏；反之则密。如?过大，条纹将密集到难以分辨，就观察不到干涉条纹了。 劈尖干涉条纹的特征 （3）条纹间距 由明纹公式可得： a.条纹等间距分布 劈尖干涉条纹是一系列明暗相间的、等间距分布的、平行于棱边的平直条纹。 劈尖干涉条纹 劈尖干涉条纹的特征 劈尖膜应用: 1.测量微小厚度变化 薄膜厚度增加时,条纹___移,厚度减小时条纹___移。 薄膜的 增加时，条纹___移， 减小时条纹____移。 显然，从视场中移动了m个条纹，薄膜厚度改变了： 被检体 被检体 被检体 被检体 2.检查平面： 检查平面 据纹路弯曲方向说明工件表面凹还是凸 说明纹路深度 检查平面 例1 在半导体元件生产中，为了测定硅片上SiO2薄膜的厚度，将该膜的一端腐蚀成劈尖状，已知SiO2 的折射率n =1.46，用波长? =5893埃的钠光照射后，观察到劈尖上出现9条暗纹，且第9条在劈尖斜坡上端点M处，Si的折射率为3.42。试求SiO2薄膜的厚度。 Si SiO2 O M 解：由暗纹条件 e = (2k+1)? /4n ?= 2ne = (2k+1）? /2 (k=0,1,2…) 知,第9条暗纹对应于k=8,代入上式得 = 1.72(?m) 所以SiO2薄膜的厚度为1.72 ?m。 3.测量薄膜的厚度 例2 为了测量金属细丝的直径，把金属丝夹在两块平玻璃之间，形成劈尖，如图所示，如用单色光垂直照射 ，就得到等厚干涉条纹。测出干涉条