控制镀膜玻璃针孔缺陷的探讨.pdfVIP

全国性建材科技期刊—— 《玻璃》 2007年 第 5期 总第 194期 在线阳光控制镀膜玻璃针孔缺陷的探讨 物 海 涛 (秦皇岛耀华玻璃工业园有限责任公司 秦皇岛市 066001) 摘 要 以秦皇岛耀华玻璃工业 园有限责任公司的在线阳光控制镀膜玻璃 的生产为研究实例 ，论述 了CVD生产 原理和 CVD镀膜生产过程 。阐述 了对解决镀膜缺陷问题所做 的改进措施。 关键词 在线阳光控制镀膜玻璃 CVD镀膜 针孔 中图分类号 ：TQ171 文献标识码 ：A 文章编号 ：1003—1987(2007)05—0048—03 1 引 言 SiH Si+ 4H C：H +2H— CzH6(或 CH ) 镀膜玻璃作为玻璃表面的改性产品，具有遮 阳、 在热的玻璃基片上淀积的硅膜随着冷却成为了玻 反射红外线、吸收紫外线等特性 ，节能效果明显，市场 璃的一部分，膜层牢固耐用。实际生产表明，玻璃表面 需求量逐年增加。镀膜玻璃 的生产已经形成 了一个 与反应器底面间距和副产物排除的速度、玻璃板运动 独立的行业在建材工业 中占有重要一席。阳光控制 速度、硅烷浓度、沉积区温度均是薄膜淀积的重要影响 镀膜玻璃是对波长范 围350～1800nm 的太 阳光具 因素，控制他们是生产优质硅膜玻璃的重要保证。 有一定控制作用的镀膜玻璃 ，是一种环保节能产品。 2 在线镀膜生产概述 3 国家标准和我厂针孔现象描述 《镀膜玻璃 》GB／T 18915．1～ 18915．2—2O02 玻璃在线镀膜也称为在线热分解气相淀积法镀 中对镀膜玻璃针孔的定义：从镀膜玻璃透射方向看 ， 膜，我厂生产的为阳光控制镀膜玻璃 ，所使用的镀膜 相对于膜层整体可视透明的部分或全部没有附着膜 原料全部是气体。CVD(ChemicalVaporDeposi— 层的点状缺陷。 tion化学气相沉淀)装置则 由下列部件组成 ：反应气 表 1 在线镀膜玻璃的外观质量 供应系统、气体传送系统、反应器 、反应激活能源及 缺陷 说 明 优等品 合格品 尾气排放部分。这项镀膜技术是 以硅烷 、乙烯为原 名称 直径 料 ，在锡槽内适合的温度和气氛条件下，由氮气做载 不允许集 中 0．8 mitt 体经过配气后，硅烷 、乙烯和氮气按一定 的比例从镀 中部 ：3．0×S．个 ．且 任 0．8mm≤ 直 径 意两针孔之 间的距离大 不允许集中 膜反应器两侧进入置于玻璃板上方 的反应器 ，以均