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第三篇 过程动力学 无机材料物理化学 教程教案.ppt
扩散之后,全部杂质φ0在沿整个x轴(-∞,+∞)的分布是: 限定源扩散 可以假设在dx的小间隔中各杂质的净位移相同,P271,于是 若间隔趋向无穷小,求和变成积分,同时在半无限的情况下,扩散总量是φ0/2,所以有: 第二节 扩散的微观规律 若是三维扩散的情况下,沿+x方向的扩散量只有φ0/6,按此式得到 说明扩散系数直接反映了布朗运动的强弱。 上面推导过程中,不涉及具体的扩散机构(即具体跃迁方式),也不涉及具体的晶体结构,并认为每次向各方向跃迁的几率都相同,而且每次跃迁和前一次跃迁无关,这种通常称作随即-走动扩散。 第二节 扩散的微观规律 第二节 扩散的微观规律 二. 扩散机制 1.间隙机制 当原子从一个间隙位置转移到另一个间隙位置而没有引起基质晶格的永久性畸变,我们就可以说,该原子是借助于间隙机制进行了扩散。 借助于间隙机制扩散的原子,将在这些间隙点所组成的空格子中从一个位置跃迁到另一个位置。 在杂质原子的半径比基质原子的半径小得多时,往往采用间隙机制来进行扩散。 当填隙原子半径逐渐地和基质原子一样大小时,跃迁引起局部畸变过大,就会被另外的机制所取代。 第二节 扩散的微观规律 由图可见,杂质原子要由①到②位置迁移, 基质晶格的原子3和4必先移动分开到足够 让其通过,这种局部的暂时的畸变,构成 了一个填隙原子改变位置的势垒。 第二节 扩散的微观规律 2. 空位机制 某个占有一正常格点位置的原子跃迁到近邻的空位上,这个原子就可以说是空位机制的扩散。空位机制的扩散也要克服一定的势垒。如图。但由于引起的畸变不大,所以势垒很小。 这种机制在各种离子化合物和氧化物及合金中占有支配地位。 第二节 扩散的微观规律 3. 环形机制 两个最近邻的原子进行简单的位置交换,而进行扩散的想法在1930年就提出了,由于这种机制引起的畸变能比较大。因而没有引起人们的注意,认为不可能。1950年,Zener指出,如果用3个或4个原子作为一组进行旋转,这样引起的局部畸变将比简单的两个原子的位置交换要小。人们把这种利用一组原子旋转来进行的扩散称作环形扩散机制。 三. 三维空间的无序-走动扩散实例 对于三维空间的无序-走动扩散,在不涉及具体扩散机制,以及晶体结构的前提下,导出了公式: 如果涉及到具体扩散机制以及晶体结构,此公式是否适用,应做哪些修正。 我们以面心立方格子中的空位扩散为例进行分析: 如图,空位A可能跃迁的12个方向矢量。这12个矢量是等价的,因此向这12个方向跃迁的几率应该相等。 第二节 扩散的微观规律 从图中可以看出,对于每个特定的跃迁关系,必定有另一个方向相反,大小相等的跃迁矢量,所以 第二节 扩散的微观规律 * * 无机材料物理化学 第三篇 过程动力学 第一章 扩散过程 绪论 扩散是一种由热运动所引起的杂质原子或基质原子的输运过程。 在液态中,原子或分子可以比较自由地移动 在固体中,原子相对地比较稳定,基本上固定在各格点附近,在较高温度,它们可以通过扩散的方式移动。 无机材料在高温下发生的微观结构的变化以及化学反应往往都是通过扩散进行的 扩散是固体中发生变化的基础 绪论 对扩散现象的研究主要有以下两方面: 对定向扩散流建立数学模型,总结出扩散的宏观规律; 搞清扩散的微观本质,即原子如何在固态中从一个位置迁移到另一个位置,并探讨微观运动和扩散系数之间的关系,从而能比较深入地分析影响扩散的因素。 第一节 扩散的宏观规律 在较普遍的条件下,出现定向扩散流的条件是在媒质中存在化学位梯度,在接近理想溶液的情况下,扩散的驱动力是浓度梯度。本节仅讨论后一种情况,也即建立以浓度梯度为推动力的扩散方程。 一、扩散方程的建立 为了得到n型或p型半导体,人们采取往半导体Si中扩散磷或硼。一般方法是将磷或硼涂在硅片上置于高温下,让其往硅片内部扩散。 下面研究一下一维扩散问题中的浓度在空间中的分布及随时间的变化规律。 直角坐标系中取一微体积元dx,dy,dz。在这个平行六面体中的浓度变化取决于扩散强度J流入和离开它的量。 在一维问题中,如只沿x方向进行,扩散流并不穿过前后和上下四面,只穿过左右两面。 在左面,流量J|xdydz是流入的
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