金属电极对高阶泛音石英晶体谐振器振动频率影响.pdfVIP

目 录 Abstract ： 2 第一章 引 言 4 1.1 毕业论文的背景、意义 4 1.2 毕业论文所做的工作 5 第二章 理论基础介绍 6 2.1 弹性力学基础 6 2.2 带修正常数的高阶 Mindlin 板相关理论 9 第三章 AT 切石英晶体带的高阶泛音厚度剪切振动频率 10 3.1 AT 切石英晶体带的色散关系 10 3.2 求解频率方程 15 第四章 金属电极厚度对高阶泛音石英晶体谐振器厚度剪切振动频率的影响 17 4.1 单层电极石英晶体板厚度剪切振动频率和金属电极厚度的关系 17 4.1.1 问题介绍 17 4.1.2 以质量比为参数的高阶泛音厚度剪切振动频率方程 18 4.1.3 算例 20 第五章 结论与展望 23 参考文献 24 致 谢 25 附 录 26 附录 1：毕业论文电子材料刻录光盘26 附录2 ：文献综述26 附录 3 ：开题报告26 3 第一章 引 言 1.1 毕业论文的背景、意义 随着晶体谐振器的迅速发展，作为首选材料的石英，其压电性能正得到积极研 究，并广泛应用于石英晶体谐振器的设计和制造中。早期的谐振器尺寸一般都比较 大，相对而言，其金属电极镀层尺寸就显得比较小。因此，当时的谐振器设计制造 基本上忽略了电极厚度对谐振器频率的影响。然而，当前的谐振器应用要求获得的 谐振频率更高、更稳定、更加精确。因此谐振器的尺寸设计的很薄，这样一来，我 们就必须考虑谐振器金属电极对其振动频率的影响。另外，为获得更高的频率，也 利用谐振器的高阶泛音振动。据有关数据显示，石英晶体基频谐振频率一般在 27MHz 左右，而五阶谐振可以到达 100MHz 左右。可见，利用高阶泛音来获得更 高的频率是非常有效的。因此，考虑金属电极对谐振器高阶泛音振动频率的影响就 非常有意义。 本文主要利用弹性力学有关知识和压电原理，从无限大石英晶体板的自由振动 入手，研究金属电极厚度对高阶厚度剪切振动频率的影响。得到了以电极和石英晶 体板的质量比 R 2ρh / ρh （1） （ρ, h, ρ, h 分别为石英板密度、厚度、金属电极密度和厚度）和归一化后的频率为 参数的频率方程，并以常见的电极材料纯金和纯银做了算例，得到了以纯金、纯银 作为金属电极的石英晶体谐振器厚度比和频率的关系图。我们看到：当质量比在较 小范围的时候，频率随质量比的增大近似呈线性下降，并且下降速率随着阶数的增 高而变大。特别是对于七阶、九阶或者更高的泛音，其下降的速率是相当的大的， 因此，为了设计频率更精确的谐振器，考虑金属电极对其影响是非常必要的。 另外，研究谐振器的长度尺寸对其高阶泛音振动频率的影响对设计和制造精确 频率的谐振器具有非常重要的意义。本文研究了在没有金属电极和不考虑压电效应 得有限石英晶体带的长度尺寸和其高阶泛音厚度剪切振动频率之间的关系。在这里， 所涉及的应力表达式加入了修正常数，这个常数的加入，使得所得的结果更和实际 实验接近，这就使得研究的结果更有实际意义，并可以直接应用于谐振器的设计、 制造中。本研究得到了谐振器石英带自由振动下的色散关系，并进一步解出其归一 化后的频率和长度对厚度的尺寸比这两个参数的频率方程。 4 1.2 毕业论文所做的工作 为了完成本论文的相关工作，我阅读了大量的文献，基本上理解了和本论文相 关的理论基础，使得接下来的公式推导和方程求解得以顺利进行。这些文献主要是 王骥教授的论文和R.D.Mindlin的弹性板振动理论介绍。这些论文基本上就是我的 主要压电知识来源和论文参考。除了理论学习和公式推导，计算是完成本论文的关 键。本论文的相关计算 ，借助于功能强大的