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表面传导场发射显示器研究 　　摘要：表面传导电子发射显示(SED) 是一种新型平板显示技术,跟现有主流显示技术相比,它在对比度、灰度级、色彩、动态响应及功耗等方面均有优势。在SED的发展历程、研究现状、原理结构以及显示器荧光屏的制备方面，进行了简单的综述。对荧光屏的制备分别进行了详细的说明。 　　关键词：SED； 原理结构； 荧光屏； 制备 　　中图分类号：TN919?34文献标识码：A文章编号：1004?373X(2012)04?0139?03 　　Study of surface conduction field emission display 　　SUN Hao 　　（National Key Lab of High?Power Microwave Electronic Vacuum Applications and Technology, UESTC, Chengdu 610054, China） 　　Abstract： Surface?conduction field emission display (SED) is a new kind of flat panel display technology. Compared with the existing main stream technology, SED has great advantages in many aspects, such as contrast, gray levels, colors, dynamic response and power consumption. The development history, research status, principle, structure and the preparation of the fluorescent screen are generally summarize in this article. The preparation process of fluorescent screens is illustrated. 　　Keywords： SED; principle and structure; fluorescent screen; preparation 　　 　　 　　收稿日期：2011?08?13 　　基金项目：国家自然科学基金资助项目0引言 　　近年来，平板显示器在亮度、对比度、视角等技术指标上不断提高,同时成本大幅度降低,使得平板显示器在消费市场上逐步取代CRT 显示器,成为电视高清晰化更新换代的主流选择。目前显示器市场上的主流平板显示器为液晶显示器件(LCD) 和等离子显示器件(PDP),其量产化技术比较成熟,除进一步提高显示性能指标外,更多的是通过大规模生产降低成本来提高市场竞争力。作为新型平板显示器件的代表技术,业界普遍认为有机发光显示器件(OLED) 和表面传导电子发射显示(SED) 器件有可能成为下一代的平板显示技术。 　　在新型平板显示器件方面,SED 越来越引起研究机构和相关企业的关注。SED 属于场致发射显示器件(FED) 的一种,FED 技术多年来一直受到国内外有关研究机构的关注,并进行了大量的研究工作,但从20世纪90 年代初做出实用化的样机,到90 年代中期实现商业化,已经过去了十几年,至今没有看到其对显示工业产生多大的影响。SED 由于从结构上摆脱了FED 的缺陷,克服了FED 所存在的稳定性和一致性难题,能够完全采用平面制作工艺,比LCD 和PDP 成本低,加上继承了CRT 的高画质优点,发射出的电子直接轰击荧光粉发光,没有中间环节,效率很高。因此,SED 器件由于其制作工艺简单、成本低、功耗低、画面质量高等一系列优点,具有很好的发展前景。 　　本文首先介绍了SED的发展历程以及研究现状，然后从器件的结构及显示原理出发讨论了其技术优势。最后，对荧光屏的制备方式进行了简单的介绍。 　　1SED发展历程以及研究现状 　　表面传导发射现象是前苏联科学家在20 世纪60年代初发现的，当时采用SnO2薄膜获得了较高的表面传导电子发射效率［1］，技术上属于平面型的薄膜场致发射，但因发射很不稳定而无法应用于显示，因此，70年代以后，很少有人再进行表面传导电子发射方面的研究。佳能公司从1986年启动了对SED 器件的研究，其后美国专门从事纳米材料和场发射技术研究与开发的SI Diamond Technology公司(其后更名为Nano?Proprietary公司) 于1992年提出了SED器件的完整结构，佳能公司通过数年的研究利用一系列新的工艺手段得到了稳定的表面传导电子发射，并于1996