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固体电子器件原理2009考试题A卷_answer.doc
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固体电子器件原理2009考试题A卷_answer
贵州大学2008-2009学年第二学期考试试卷 A
科目名:固体电子器件原理
注意事项:
1. 请考生按要求在试卷装订线内填写姓名、学号和年级专业。
2. 请仔细阅读各种题目的回答要求,在规定的位置填写答案。
3. 不要在试卷上乱写乱画,不要在装订线内填写无关的内容。
4. 满分100分,考试时间为120分钟。
一、能带图 (27分)
1. 画出硅pn结零偏、反偏和正偏条件下的能带图,标出
有关能量。 (9 分)
2. 画出n型衬底上理想的金属-半导体接触(理想金属-半导体接触的含义:金属-半导体界面无界面态,不考虑镜像电荷的作用)的能带图,(a) ?m gt; ?s, (b) ?m lt; ?s. 分别指出该接触是欧姆接触还是整流接触? (要求画出接触前和接触后的能带图)( 8 分 )
?m gt; ?s,
?m lt; ?s,
3. 画出p型硅衬底上理想MOS结构(理想MOS结构的含义:栅极材料与衬底半导体无功函数差,栅极-氧化层-衬底无界面态,氧化层为理想的介质层)半导体表面处于反型状态时的能带图。 (5分
)
4. 重掺杂的n多晶硅栅极-二氧化硅-n型半导体衬底形成的MOS结构,假定
氧化层电荷为零。画出MOS结构在平衡态的能带图,说明半导体表面状态。(5分)
+
二、器件工作机理和概念(35 分)
1. 简述突变空间电荷区近似的概念。 (5分)
现在以突变pn结为例来研究平衡pn结的特性。我们知道,在p型半导体中,空穴是多数载流子,电子是少数载流子;而在n型半导体中,电子是多数载流子,空穴是少数载流子。于是,在pn结冶金界面的两侧因浓度差而出现了载流子的扩散运动。 p区的空穴向n区扩散,在冶金界面的p型侧留下电离的不可动的受主离子; 同理,n区的电子向p区扩散,在冶金界面的n型侧留下电离的不可动的施主离子。电离的受主离子带负电,电离的施主离子带正电。于是,随着扩散过程的进行,在pn结界面两侧的薄层内,形成了由不可动的正负电荷组成的非电中性区域。我们把这一区域称为pn结空间电荷区, 如图所示。
空间电荷的出现,在pn结两侧产生了由正电荷指向负电荷的电场Ebi, 即由n区指向p区的电场。这一电场称为自建电场或内建电场。在自建电场的作用下,空间电荷区内n型侧空穴向p区漂移,p型侧电子向n区漂移,同时产生与p区空穴和n区电子的扩散方向相反的“推挡”作用,减弱了浓度差引起的扩散运动对载流子的输运作用。当扩散运动与自建电场的作用达到动态平衡时, 载流子通过pn结界面的净输运为零,空间电荷区的宽度不再变化,自建电场的大小也不再变化。
由于自建电场的作用,可近似认为空间电荷区内的自由载流子—电子和空穴 被完全“扫出”该区域,只剩下电离受主和电离施主原子,空间电荷区是一个高阻区,所以空间电荷区又称为耗尽区或阻挡层。此外,空间电荷区的边界虽然是缓变的,但计算表明过度区很窄,因此,可近似认为空间电荷区边界是突变的。这两个近似条件,称为突变空间电荷区近似或突变耗尽近似。在突变耗尽近似条件下,如图在-xp到xn之间,没有自由载流子,电阻为无穷大;在-xp和xn的外侧是电中性的;在-xp和xn处,存在一个由电中性区到耗尽区的突变界面。
2. 简述耗尽层电容和扩散电容的概念。 (6 分)
pn结的耗尽层电容
pn结的耗尽层电容,又称势垒电容,在教材中被称为Junction Capacitance。在耗尽层近似下,当pn结的外加电压变化时,空间电荷区的宽窄跟着发生变化,空间电荷区的电荷也跟着发生变化,如图1所示。这种空间电荷区电荷随外加电压的变化,类似于平板电容器的充放电。也就是说,pn结空间电荷区具有电容效应,称为耗尽层电容。
pn结的扩散电容
当pn结加上正向直流偏压时,pn结空间电荷区外侧的载流子浓度分布如图2所示。如果在直流偏压上叠加一交流电压,即
v?V1sin?t
则在交流电压的正半周,pn结总偏压增大,空间电荷区边界处的非平衡载流子浓度增大,并
在扩散区内直流分布之上形成一新的分布。在交流电压的负半周,空间电荷区边界处的非平衡载流子浓度减小,并在扩散区内直流分布之下形成
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