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21世纪的硅微电?子学的论文 21?世纪的硅微电子学?的论文 作者简介? 王阳元，193?5年生，微电子学?家。浙江宁波人。?1958年北京大?学物理系毕业。北?京大学微电子学研?究所教授。 关键?词 微电子技术 ?集成系统 微机电?系统 dna芯片? 1 引 言 综?观人类社会发展的?文明史，一切生产?方式和生活方式的?重大变革都是由于?新的科学发现和新?技术的产生而引发?的，科学技术作为?革命的力量，推动?着人类社会向前发?展。从50多年前?晶体管的发明到目?前微电子技术成为?整个信息社会的基?础和核心的发展历?史充分证明了“科?学技术是第一生产?力”。信息是客观?事物状态和运动特?征的一种普遍形式?，与材料和能源一?起是人类社会的重?要资源，但对它的?利用却仅仅是开始?。当前面临的信息?革命以数字化和网?络化作为特征。数?字化大大改善了人?们对信息的利用，?更好地满足了人们?对信息的需求；而?网络化则使人们更?为方便地交换信息?，使整个地球成为?一个“地球村”。?以数字化和网络化?为特征的信息技术?同一般技术不同，?它具有极强的渗透?性和基础性，它可?以渗透和改造各种?产业和行业，改变?着人类的生产和生?活方式，改变着经?济形态和社会、政?治、文化等各个领?域。而它的基础之?一就是微电子技术?。可以毫不夸张地?说，没有微电子技?术的进步，就不可?能有今天信息技术?的蓬勃发展，微电?子已经成为整个信?息社会发展的基石?。50多年来微电?子技术的发展历史?，实际上就是不断?创新的过程，这里?指的创新包括原始?创新、技术创新和?应用创新等。WW?w..Com晶体?管的发明并不是一?个孤立的精心设计?的实验，而是一系?列固体物理、半导?体物理、材料科学?等取得重大突破后?的必然结果。19?47年发明点接触?型晶体管、194?8年发明结型场效?应晶体管以及以后?的硅平面工艺、集?成电路、cmos?技术、半导体随机?存储器、cpu、?非挥发存储器等微?电子领域的重大发?明也都是一系列创?新成果的体现。同?时，每一项重大发?明又都开拓出一个?新的领域，带来了?新的巨大市场，对?我们的生产、生活?方式产生了重大的?影响。也正是由于?微电子技术领域的?不断创新，才能使?微电子能够以每三?年集成度翻两番、?特征尺寸缩小倍的?速度持续发展几十?年。自1968年?开始，与硅技术有?关的学术论文数量?已经超过了与钢铁?有关的学术论文，?所以有人认为，1?968年以后人类?进入了继石器、青?铜器、铁器时代之?后硅石时代（si?licon ag?e）。因此可以说?社会发展的本质是?创新，没有创新，?社会就只能被囚禁?在“超稳态”陷阱?之中。虽然创新作?为经济发展的改革?动力往往会给社会?带来“创造性的破?坏”，但经过这种?破坏后，又将开始?一个新的处于更高?层次的创新循环，?社会就是以这样螺?旋形上升的方式向?前发展。 在微电?子技术发展的前5?0年，创新起到了?决定性的作用，而?今后微电子技术的?发展仍将依赖于一?系列创新性成果的?出现。我们认为：?目前微电子技术已?经发展到了一个很?关键的时期，21?世纪上半叶，也就?是今后50年微电?子技术的发展趋势?和主要的创新领域?主要有以下四个方?面：以硅基cmo?s电路为主流工艺?；系统芯片（sy?stem on ?a chip，s?oc）为发展重点?；量子电子器件和?以分子（原子）自?组装技术为基础的?纳米电子学；与其?他学科的结合诞生?新的技术增长点，?如mems，dn?a chip等。? 2 21世纪上?半叶仍将以硅基c?mos电路为主流?工艺 微电子技术?发展的目标是不断?提高集成系统的性?能及性能价格比，?因此便要求提高芯?片的集成度，这是?不断缩小半导体器?件特征尺寸的动力?源泉。以mos技?术为例，沟道长度?缩小可以提高集成?电路的速度；同时?缩小沟道长度和宽?度还可减小器件尺?寸，提高集成度，?从而在芯片上集成?更多数目的晶体管?，将结构更加复杂?、性能更加完善的?电子系统集成在一?个芯片上；此外，?随着集成度的提高?，系统的速度和可?靠性也大大提高，?价格大幅度下降。?由于片内信号的延?迟总小于芯片间的?信号延迟，这样在?器件尺寸缩小后，?即使器件本身的性?能没有提高，整个?集成系统的性能也?可以得到很大的提?高。自1958年?集成电路发明以来?，为了提高电子系?统的性能，降低成?本，微电子器件的?特征尺寸不断缩小?，加工精度不断提?高，同时硅片的面?积不断增大。集成?电路芯片的发展基?本上遵循了int?el公司创始人之?一的gordon? e．moore? 1965年预言?的摩尔定律，即每?隔三年集成度增加?4倍，特征尺寸缩?小倍。在这期间，?虽然有很多人预测?这种发展趋势将减?缓，