一种用于蓝宝石晶体导膜法生长的吊装结构.docVIP

权利要求书 一种导膜法生长蓝宝石晶体的方法，其特征在于：晶体生长时，采用模具吊装结构和用于气体排开熔体的排液结构，保证晶体生长过程中，随着坩埚内氧化铝熔液的减少，将排液气体通入坩埚内的排液机构内，使氧化铝熔液液面保持在同一水平面上。为保护模具吊装结构在高温下的稳定性，模具吊装结构周围充满特定的保护气体。 根据权利要求1所述的所述的所述根据权利要求所述的根据权利要求所述的根据权利要求所述 说明书 一种导膜法生长板状蓝宝石晶体的结构和方法 技术领域 本属于技术领域，涉及，涉及一种蓝宝石 蓝宝石是α-Al2O3)的单晶，俗称刚玉，是由三个氧原子和两个铝原子以共价键形式结合，属于六方晶系。其熔点为2050℃，℃，最高工作温度可达1900℃蓝宝石晶体材料的化学性质非常稳定，一般不溶于水，不受酸、碱腐蚀；蓝宝石晶体硬度高，为莫氏硬度9级，仅次于最硬的金刚石；它具有很好的，。蓝宝石晶体材料的生长目前已有很多种方法，主要有：泡生法（Kyropolos法，简称Ky法）、导模法（即dge Defined Film-fed Growth techniques法，简称EFG法）、热交换法（即eat Exchange Method 法，简称HEM法）提拉法（Czochralski，简称Cz法）布里奇曼法（Bridgman法，坩埚下降法）等。 本发明是在《一种用于蓝宝石晶体导膜法生长的模具吊装装置》（给出专利申请号）的基础上，增加U型坩埚，同时提出了利用排液气体排出倒置坩埚内的熔体，被排出熔体由倒置坩埚底部，流入大坩埚内，从而提高大坩埚内的液面高度，再同时利用混合保护性气体保障坩埚、吊盘、吊杆和其他Mo/W金属件使用寿命。另外，本发明给出了通入的排液气体成分和方法。 为解决上述技术问题，本发明的技术方案为：一种利用气体排开熔体的导膜法吊装结构方法，其特征在于：模具放置在吊盘上；吊盘固定在四根吊杆上；吊杆下端有销钉，可托起吊盘；石墨隔热毡放置在吊盘上，并包围模具；U型坩埚固定在吊盘下端，模具位于U型坩埚对称轴上；通气管固定在U型坩埚上，穿过吊盘和吊盘上的石墨隔热毡；大坩埚位于U型坩埚和模具下方。 进一步地，所述通气管与倒置坩埚之间利用良好的焊接或螺纹结构固定，固定处具有密封作用，通过该气管向U型坩埚内吹入气体，能够有效将U型坩埚内的熔体排出，并从U型坩埚底部流入大坩埚内，在长晶过程中维持坩埚内的熔体高度，所通入气体为一种能够有效抑制氧化铝在2100度至2200度剧烈蒸发和分解的混合气体。通气管与U型坩埚紧密连接，能够有效防止气体外溢，确保气体能够将熔体排出；选用气体排开液体的方式，不会产生多余的振动；在长晶过程中，由于气体排开的液体进入大坩埚，因此大坩埚内的熔体高度保持不变，与模具顶端形成了稳定的压差，确保了结晶界面的稳定性，提高了晶体质量，保证了晶体外观的一致性；所用混合气体能够有效抑制氧化铝高温挥发与分解，大幅度的降低了气管被堵塞的可能，确保系统的重复使用寿命。 进一步地，所述吊装结构处于高温热场中，并处于一种混合保护性气体中，其混合保护性气体能够有效抑制氧化铝在2100度至2200度蒸发的同时，还能有效防止蒸发的氧化铝蒸汽与热场中其他石墨材质材料发生反应，也降低了石墨材料与金属Mo/W反应程度。由于导膜法采用石墨材质保温系统，且吊装结构上也放置有石墨隔热毡，且系统处于2100度以上的高温环境中，石墨与金属接触的位置反应方程如下： W + C = WC [1] Mo + C = Mo3C [2] 考虑氧化铝、C、Mo和W的蒸发情况， [3] [4] 其中，P是压力，A，B和C根据材料不同而确定的系数，T是温度。根据公式不难发现高温状态下，氧化铝的蒸汽压10e+3Pa，W的蒸汽压10e-9Pa，Mo的蒸汽压10e-3Pa，C的蒸汽压10e-3.3Pa，可见氧化铝的蒸发异常强烈，而石墨保温材料为多孔材料，氧化铝因而会主动进入保温材料中，发生如下反应： Al2O3 + C — Al4O4C + CO [5] Al2O3 + C — Al4C4 + CO [6] 即与石墨接触的Mo/W被C反应腐蚀，蒸发出的氧化铝同样与石墨反应造成石墨的损失，因此热场的使用寿命大大降低了，而通过混合保护性气体环境能够有