用于固体直接分析的质谱仪器的研发与运用.pdf

摘 要 目前，固体样品的元素分析在电子、冶金、地质、环境、空间探索和半导体 工业等领域具有极其重的地位。传统的分析方法通常都是将固体样品用强酸强碱 溶解消化，然后用光谱法或质谱法进行检测。这一过程不仅费时费力，而且消化 所用的强腐蚀性酸碱溶液大大增加了操作的复杂性和危险性，并且在样品溶解过 程中难免会产生样品污染和待测元素损失等问题，影响测定结果的准确性。现代 科学的飞速发展尤其是材料科学的进步，对样品的分析提出了更高的要求，例如 对样品进行微区分析或深度分析等，传统的基于溶液的测试方法己不能满足分析 需求。因而，固体样品直接分析方法的研究具有十分重要意义。 相较于光谱法，质谱法具有检出能力更强、谱图更简单并且能分析同位素等 特点，因此本论文主要介绍了几种用于固体样品直接分析的质谱仪器的研发及其 应用。下面简要说明本论文的主要研究内容和成果： 第一部分内容是关于激光剥蚀电感耦合等离子体质谱(LA．ICP．MS)技术。 LA．ICP．MS是一种用途广泛的固体直接进样分析的技术。它灵敏度高，能实现 对固体样品的表面分析和微区分析，是固体样品痕量、超痕量元素直接分析最有 应用前景的方法之一。这部分工作主要是研制了一套激光剥蚀进样系统，并将其 用于电感耦合等离子体质谱仪中，以及整套系统的参数优化。结果表明，所研制 的激光剥蚀进样系统与电感耦合等离子体质谱相结合，不仅可以实现固体样品直 接进样，达到对固体样品快速检测的目的，而且仪器的灵敏度很高，分析能力良 好。 第二部分内容是关于激光电离飞行时间质谱(LI．TOFMS)技术。LI．TOFMS 技术在固体的直接分析方面具有优越的性能和发展潜力。本课题组在LI．TOFMS 技术的研究与发展做了大量的工作——引入了氦气辅助式的激光电离源，并与垂 直引入式飞行时间质谱仪相结合。这部分工作首先为LI．TOFMS设计了一套延时 可调高压脉冲串的电路，结果表明，脉冲串电路的使用可以降低背景，提高信噪 比；其次将原有的射频多极杆离子传输系统改造为静电透镜传输系统，并在飞行 时间质量分析器中安装偏转板以校正离子动能，实验结果表明，静电透镜的引入 大大减轻了离子传输时的质量歧视效应；最后用LI．TOFMS对固体样品直接分 析进行研究，结果表明，氦气辅助式LI．TOFMS不仅可以实现对固体样品金属 元素进行直接分析，亦能对有机金属化合物展开分析，更重要的是它可以直接快 速灵敏地分析非金属元素。对于多数的非金属元素检测动态范围可以达到6个数 量级，检测限可到ppm级。 第三部分内容是关于辉光放电与激光电离双离子源四极杆质谱 (GD／LI．QMS)技术。辉光放电离子源由于其放电稳定、能量分散较小、灵敏 度较高以及结构简单成为固体样品直接分析的重要手段。这部分工作首次将氦气 辅助激光电离源与四极杆质谱仪相结合，克服了传统激光电离源与四极杆质谱仪 不匹配的问题，并将辉光放电电离源与激光电离离子源结合在同一台仪器中，研 制了一台辉光放电／激光电离双电离源四极杆质谱仪。实验结果表明，所研制的 仪器可以采用固体样品直接进样方式，实现了对固体样品快速检测。该方法具有 样品前处理简单、分析速度快、灵敏度高等优点，对固体样品元素分析的检出限 可到ppm级。激光电离方式比辉光放电展现出更优异的性能，更高的灵敏度，更 小的背景干扰，并且能分析非金属元素和非导体样品。 关键词：固体直接分析；激光剥蚀电感耦合等离子体质谱；激光电离；辉光放电； 飞行时间质谱；四极杆质谱 2 Abstract Itis to theelemental ofthe in importantacquire compositionsolids，especially metallurgy，geochemistry，enVironment，spaceexploration，semiconductorindustry， andotherfields．Theelementaldetenninationofsolids usuaIlyrequirescomplicated isassociatedwi