基于有限元方法的压电微悬臂梁的模态研究和压电研究-modal and piezoelectric research of piezoelectric microcantilever based on finite element method.docxVIP

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2018-08-14 发布于上海
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基于有限元方法的压电微悬臂梁的模态研究和压电研究-modal and piezoelectric research of piezoelectric microcantilever based on finite element method

目录目录1 绪论 .................................................................... 11.1 选题的背景及研究的意义 ............................................ 11.1.1 基于有限元方法的有限元软件 ansys 及其功能 11.1.2 微型器件的广泛应用 ........................................... 21.1.3 压电微悬臂梁 ................................................. 41.1.4 研究意义 ..................................................... 71.2 国内外的研究动态及发展趋势 ........................................ 81.2.1 压电微悬臂的科研贡献 ......................................... 81.2.2 压电微悬臂梁的研究内容 ....................................... 81.2.3 有限元软件对压电微悬臂梁的研究 ............................... 91.3 论文的主要工作及章节安排 ......................................... 101.3.1 主要工作 .................................................... 101.3.2 章节安排 .................................................... 112 利用有限元方法模拟压电微悬臂梁振动 ..................................... 142.1 振动的基本方程 ................................................... 142.1.1 有限元方法的基本思想 ........................................ 142.1.2 分析步骤 .................................................... 142.1.3 主振型 ...................................................... 162.2ansys12.0 对压电微悬臂梁的模态分析162.2.1 定义单元类型和材料属性 ...................................... 172.2.2 建模与划分网格 .............................................. 192.2.3 施加约束 .................................................... 222.2.4 模态分析求解 ................................................ 242.3 ansys 模态分析结果的验证263 电极层对 PZT 压电微悬臂梁动态性能的影响283.1 问题研究背景 ..................................................... 283.2 研究方案 ......................................................... 283.3 执行过程 ......................................................... 293.3.1 编写模态分析的参数化设计语言 APDL293.3.2 改变单晶硅厚度并运行程序 .................................... 303.4 分析结果 ......................................................... 304 PZT 压电微悬臂梁的压电分析32I目录4.1 压电分析的理论背景 ............................................... 324.2 ansys12.0 对微压电悬臂梁的压电分析 344.2.1 定义单元类型 ................................................ 344.2.2 定义材料属性 .......