微机械加速度计误差分析及补偿技术.pptxVIP

微机械加速度计误差分析与补偿技术 自动化学院 李楠 误差分析 误差补偿 结构误差 噪声误差 温度误差 交叉加速度误差 闭环系统误差 噪声误差 温度误差 滤波（H∞） 神经网络SVM 微机械加速度计的结构误差 结构误差主要是在设计工艺过程引入的误差。包括材料的选择、电阻的设计与加工以及主要工艺步骤的加工精度对微加速度计输出性能的影响。 微机械加速度计的噪声误差 由于微机械加速度计信号非常微弱，噪声的出现会严重降低输出信号的信噪比。 微机械加速度计系统中的噪声主要包括机械结构噪声、电源噪声、电磁干扰噪声、分布电容噪声、电路热噪…… 对噪声误差的补偿方法一般根据噪声的来源进行修正。 减小噪声的措施 采用调制解调型前置放大电路 增加滤波电路 合理布线 采用屏蔽措施 电源滤波 增大敏感质量 适当真空封装 减小功耗 微机械加速度计的温度误差 微机械加速度计通电工作时，其功耗会造成加速度计本身温度的升高。环境温度的变化也会噪声加速度计本身温度的升高。 温度的变化会引起表头几何尺寸以及电解质介电常数的变化，进而引起敏感电容的变化，造成输出误差。 微机械加速度计的零位温度漂移 微机械加速度计的温度传感器输出 微机械加速度计的交叉加速度误差 对于微机械加速度计，敏感轴正交方向上的加速度输入理论上不引起加速度计输出，但由于结构形式及结构参数的原因，会引起加速度计输出的变化，