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湖窜地掌新进羼(9) 电子探针基本原理及其分析特点与地学应用 曹宸张文山 胡祥昭 (中南大学地球科学与信息物理学院 湖南长沙410083) 摘要：电子探针作为岩矿分析的一种高效手段，已经被广为应用。本文主要介绍了在以往学习工作中一直被忽视的电手振针 基本原理与特点．及其在岩矿测试中得应用。 关键词：岩矿测试；电子探针；地学 电子探针是一种显微分析和成分分析相结合的微区分析，它特别适用于分析试样中微小区域的化学成分，因 而是研究材料组织结构和元素分布状态的极为有用的分析方法。 1 基本原理 镜选定的待分析试样上某个“点” (一般直径为1-50um)，利用试样受到轰击时发射的x射线的波长及强度，来 确定分析区域中的化学组成。 常用的电子探针X射线谱仪有两种：一种是依据特征X射线的波长和相应光量子的关系，通过测量特征X射 线的光量子来确定测定试样激发的特征X射线波长，得到一个按能量展开的图谱，简称能谱仪。 另一种是根据莫塞莱定律 2dsinO=-nA 厅 、／}《(Z-o-) 来测定试样激发的特征X射线波长。来确定被激发物质中所含有的元素，采用晶面间距已知的晶体，运用布拉格 定律通过测角求出波长，从而定性，得到一个按波长展开的图谱，简称波谱仪。 定性分析基本原理：波谱仪可以测量电子激发试样所产生的特征X射线波长的种类，即可确定试样中所存在 元素的种类，进行定性分析。能谱定性分析主要是根据不同元素之间的特征X射线能量不同，即E=hv，h为普朗 克常数，l，为特征X射线频率，通过EDS检测试样中不同能量的特征X射线光子，即可进行元素的定性分析。 定量分析基本原理：试样中A元素的相对含量CA与该元素产生的特征X射线的强度IA(X射线计数)成 正比：CA。CIA，如果在相同的电子探针分析条件下，同时测量试样和已知成份的标样中A元素的同名X射线(如 Ka线)强度，经过修正计算，就可以得出试样中A元素的相对百分含量CA。 2分析特点 微区显微结构分析：电子成分分析的空间分辨率(微束分析空间特征的一种度量，通常以激发体积表示)是 几个立方微米范围，它能将微区化学成分与显微结构对应起来，是一种显微结构的分析。一般化学分析、X光荧 光分析及光谱分析等，是分析试样较大范围内的平均化学组成，也无法与显微结构相对应，不能对材料显微结构 与材料性能关系进行研究。 元素分析范围广：电子探针能分析元素硼(B)～铀(U)。氢和氦原子只有K层电子，不能产生特征X射线。 -242- 湖南地学新蓬羼(9) 锂(蹦虽然能产生X射线，但产生的特征x射线波长太长，无法进行检测。 定量准确度高：电子探针检测极限一般为0．01％一0．05％，不同测量条件和不同元素有不同的检测极限，有时 3％，对原子序数大于11的元素，含量在10％以上时，其相对误差通常小于2％。 不损坏试样：电子探针能在光薄片上直接测定样品的组分。这样可以避免由于样品挑选不纯和认为污染所引 起的化学分析结果的误差。对薄片中的微矿物可进行点、线、面的分析，点的束斑可以再1—100仙m之间调节。 如果测定一组定向切片的话．还能了解样品中得包体、夹杂物的化学成分在剖面上或空间上得变化情况。 分析速度快：电子探针可自动进行多种方法分析，并自动进行数据处理和数据分析，对含10个元素以下的试 样定性、定量分析，新型EPMA测量试样的时间约需30分钟。 但是电子探针依然有它的局限性，主要表现在真空腔体大，成分分析束流大，所以电子光路、光阑等易污染， 图像质量不如扫描电子显微镜，而且只能分析固体样品，对气体和液体样品很无力。对于超轻元素，不但分析的 灵敏度低，分析精度也不高。价格也比较昂贵。 3电子探针的分析方法 电子探针分析有四种基本分析方法：定点定性分析、线扫描分析、面扫描分析和定点定量分析。准确的分析 对实验条件有两大方面的要求。一是对样品有一定的要求：如良好的导电、导热性，表面平整度等；二是对工作 条件有一定的要求：如加速电压，计数率和计数时间，X射线出射角等。 f11定点定性分析 定点定性分析是对试样某一选定点(区域)进行定性成分分析，以确定该点区域内存在的元素。即将电子探 针固定在样品感兴趣的点上，进行定性或定量分析。该方法用于显微结构的成份分析，