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《太阳能电池基础与应用》无机硅电池第二讲 电池效率发展历程 回顾:太阳电池性能影响因素 高能损失低能损失 太阳电池效率损失机制 光学损失ISC影响强 影响弱 影响强 影响弱VOC影响弱影响强影响弱影响强FF影响弱影响弱影响强影响强光学损失电池表面光反射损失、电极遮光损失电学损失载流子复合串阻并阻 体复合及表面复合（暗电流）、串阻、并阻 常规商业电池 基本结构 扩散结 思考:n+区一般厚度都比较小，为什么？ 常规商业电池技术改进措施抑制光学损失 减小电池表面光反射损失（1） 入射光 入射光 i反射光反射到另一晶面的 光 硅片γ折射光绒面结构 常规商业电池技术改进措施 抑制光学损失 减小电池表面光反射损失（2） 常规商业电池技术改进措施 背表面场(back surface field)降低基区少子复合抑制载流子复合 势垒! 思考: 如果基区为n型Si，怎么制作背表面场？ 常规商业电池 技术改进措施抑制载流子复合 背表面场抑制背表面少子 复合,改善电池 长波响应。 常规商业电池性能评价 常规商业电池光学损失√√√√√√载流子复合√√√√√√串阻√√√√√√并阻√√√√√√性能一般,但制备方法简单，适合大规模生产，成本低。 通往高效电池之路(p型基区)埋栅电池埋栅（buried contact）电池 激光刻槽横截图 主要特色 制备流程 硅片清洗制绒-淡磷扩散-热氧化钝化-开槽-槽区浓磷扩散-背面蒸铝-烧背场-化学镀埋栅-背面电极-减反射膜-去边烧结-测试1）埋栅结构2）发射区与顶栅接触处，重掺杂3）电池正面钝化4）电池正、背面制绒陷光 通往高效电池之路(p型基区)埋栅电池埋栅顶栅顶栅处局部重掺顶栅降低光损失?埋栅结构（细栅）极大地降低了遮光率，遮光率只有2%-3%?顶栅大的高宽比有利于降低串阻?密栅有利于降低发射区横向电阻降低电损失 ?发射区与顶栅接触处重掺杂，降低接触电阻； ?少子扩散势垒，抑制复合；?与发射区侧面接触面积大，有利于载流子收集。 通往高效电池之路(p型基区)埋栅电池重掺降低接触电阻? 接触前 接触后 功函数金属lt;功函数n-半导体思考:p型Si欧姆接触怎么做？未重掺重掺功函数金属gt;功函数n-半导体 通往高效电池之路(p型基区) 埋栅电池 钝化 降低电损失 ? 正面钝化，提高蓝光响 应，提高载流子收集几率。 背面制绒 降低光损失 ? 背面制绒（除正面制绒 外）， 增加光子光程，提 高其利用率。 通往高效电池之路(p型基区)埋栅电池 埋栅电池 光学损失 载流子复合 串阻 并阻√√√√√√√√√√√√√√√√√√√√√√√√ ?效率超过20%； ?兼顾成本和效率，适合大规模商品化的电池类型。 通往高效电池之路(p型基区)PERL电池 PERL电池前身— PESC电池（passivatedemitter solar cell） 1985年，世界上第一款转换效率超过20%的Si基太阳电池。 通往高效电池之路(p型基区)PERL电池 PERL电池高效原因 ?电池正面采用“倒金字塔”，这种结构受光效果优于正金字塔绒面结构，具有很低的反射率，从而提高了电池的JSC。 ?淡磷、浓磷的分区扩散。栅指电极下的浓磷扩散可以减少栅指电极接触电阻；而受光区域的淡磷扩散能满足横向电阻功耗小，且短波响应好的要求。 ?背面定域、小面积的硼扩散P+区，既减少了背电极的接触电阻，又增加了硼背面场。 ?蒸铝的背电极本身是很好的背反射器，从而进一步 提高了电池的转化效率。 ?双面钝化。发射极的表面钝化降低表面态，同时减 少了前表面的少子复合。而背面钝化使反向饱和电流 密度下降，同时光谱响应也得到改善。光学损失载流子复合串阻并阻√√√√√√√√√√√√√√√√√√√√√√√√ 通往高效电池之路(p型基区)PERL电池PERL电池 Isc=41mA/cm2;FF = 83% Voc = 710 mV;效率：24.7%！短波响应好长波响应好 通往高效电池之路(p型基区)PERL电池 PERL电池缺点 ?制