全固态薄膜锂电池的制备及电化学性能研讨.pdf

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2018-06-07 发布于贵州
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全固态薄膜锂电池的制备及电化学性能研讨

目录摘要…………．……………………………………………………………………………………………．I Abstract………………………………………………………………………………………………………．IV 第一章前言…………………………………………………………………………。1 1．1全固态薄膜锂／锂离子电池发展历程………………………………………．2 1．2全固态薄膜锂／锂离子电池简介……………………………………………．3 1．3全固态锂／锂离子电池研究进展……………………………………………．5 1．3．1全固态薄膜锂电池…………………………………………………………5 1．3．2全固态薄膜锂离子电池……………………………………………………7 1．3．3“无锂”全固态薄膜电池…………………………………………………9 1．3．4全固态薄膜锂“微电池”………………………………………………。lO 1．3．5全固态薄膜锂离子超级电容器…………………………………………12 3 1．3．6纤维微电池………………………………………………………………．．1 1．3．7“三维”微电池阵列……………………………………………………。14 1．4全固态薄膜锂／锂离子电池应用展望………………………………………15 1．5本论文的主要内容和创新点………………………………………………．16 参考文献…………………………………………………………………………19 第二章实验………………………………：………………………………………………．26 2．1薄膜的制备…………………………………………………………………26 2．1．1 等离子体辅助的电子束热蒸发技术……………………………………26 2．1．2射频磁控溅射技术………………………………………………………．27 2．1．3真空热蒸发镀膜技术……………………………………………………28 2．2溅射靶材制备………………………………………………………………28 2．3薄膜的物理性质表征………………………………………………………29 2．4薄膜锂电池和电解质薄膜电化学性能测定………………………………．3l 参考文献…………………………………………………………………………34 第三章等离子体辅助的电子束热蒸发法沉积LiPON电解质薄膜研究…………35 3．1引言…………………………………………………………………………．35 3．2实验………………………………………………………………………………………………37 3．3结果与讨论…………………………………………………………………．38 3．3．1 LiPON薄膜的形貌分析…………………………………………………。38 3．3．1．1电子枪加热蒸发Li3P04时的功率对薄膜形貌的影响………………。38 3．3．1．2ICP功率对薄膜形貌的影响…………………………………………．40 3．3．1．3基片温度对薄膜形貌的影响……………………………………………4l 3．3．2薄膜的结构和组成分析…………………………………………………．．42 3．3．3薄膜的电学及电化学性能分析…………………………………………．．47 3．3．4与RF磁控溅射法进行对比………………………………………………53 3．4 LiPON薄膜在潮湿空气中的失效研究…………………………………．．54 ● 3．4．1实验部分……………………………………………………………………55 3．4．2 LiPON薄膜形貌的变化…………………………………………………．．55 3．4．3 LiPON薄膜组分变化……………………………………………………