自动物料搬送系统(amhs)在晶圆制造中的应用及其效率改善.pdf

llIIIIlUlUHHIllll IlllHII 6．1A洲s系统的性能效率指标………………．Y2706147．．37 6．2影响舢S系统效率的因素…………………………………。37 6．2．1～VlHS系统硬件的稳定性………………………………38 6．2．2A删S系统内部stocker的存储能力和动态平衡能力…………38 6．2．3A删S系统的整体布局和控制策略………………………．39 6．3实例分析………………………………………………．39 6．3．1系统硬件稳定性对搬送效率的影响分析及对策研究…………．4l 6．3．2存储和平衡能力对搬送效率的影响分析及对策研究…………．44 6．3．3控制策略对搬送效率的影响分析及对策研究………………．48 第七章总结和展望…………………………………………．．56 7．1总结…………………………………………………．．56 7．2展望…………………………………………………．．5。7 参考文献………………………………………………．．58 致 谢…………………………………………．．………60 Il 万方数据 摘 要 近几年来半导体产业蓬勃发展，技术的飞速发展也对半导体晶圆代工厂提出 的更高的要求，如何提高生产效率的问题就摆在了我们的眼前。自动物料搬送系 统AMHS(AutomaticMaterial HandlingSystem)在半导体制造过程中将扮演非 常重要的角色，当然AMHS应用不仅仅局限在半导体晶圆厂的应用，它适用很多 领域，但范围最广的还是在半导体晶圆代工厂。之所以晶圆厂会大规模的采用 idle time，减少MO(miss operation)，提高生产效率。 本人所在的公司是一家半导体晶圆代工企业，采用AMHS系统为半导体晶圆 代工辅助生产。本人主要负责AMHS系统的管理和维护，有多年的系统分析经验。 本文主要通过探讨AMHS系统当前在半导体晶圆代工厂中的应用，特别是对无尘 室的布局，AMHS的结构，性能指标和影响因素的研究分析，针对不同的问题点 结合实际工作中遇到的情况，提出理论改善并进行实际操作，统计对比前后的参 数，达到提高改善的效果。 本论文的长远意义在于，希望能协助AMHS系统的制造厂家以及AMHS系统的 应用厂家在各自的生产过程中，能够从中获得一些启示，优化设计结构，在发生 类似的问题的时候可以迅速的找到解决方向，而不必要走太多的弯路；或者可以 根据论文的论述的影响因素，无论是从系统的设计阶段，到生产阶段，还是在客 户端的使用情况，都可以采取一定的预防措旌，从而可以使A～fltS系统能够发挥 更大的作用，提高整个晶圆代工厂的效率。 关键词：自动物料搬送系统 中图分类号：047 万方数据 Abslract Inrecent thesemiconductorto years industryflourish，therapid of wafer forward of semiconductor developmenttechnology foundryput to