ANSYS 在微机电系统（MEMS）设计中的应用.pdfVIP

第七章 ANSYS 在微机电系统（MEMS）设计中的应用 微机电系统(MEMS)是当今技术领域最热点之一；它采用先进的半导体工艺，将具有 信号处理功能的智能机械结构集成在一块芯片中。MEMS 装置具有与传统的传感器和执行 器等相同的功能，但比后者要小得多，通常一个 MEMS 装置只有几毫米大，而其中每个部 件的大小则不足 100 微米。自七十年代建立 MEMS 研发(RD)实验室以来，MEMS 正逐步 迈向工业化，目前已广泛用于汽车工业、航空航天、国防军工、信息技术、无线通讯、分析 化学、生物工程、制药等行业，其中汽车工业是使用 MEMS 最大的工业；其次是医药业。 由于微机电系统大多使用在汽车或机械上，其环境对精密仪器和敏感电路而言是相当 恶劣的。如何设计如此精细的结构（比人的头发丝还细），确保系统各部分正常运转，这是 当前MEMS 设计所面临的巨大挑战。在进行 MEMS 设计时，需要考虑的问题主要有： 保证 MEMS 在使用期间有效地工作。一个成功的 MEMS 设计必须保证当载荷和温度在 大范围内变化、其内部产生热积累的情况下，器件不发生损坏；某些部分如隔板（光栅）、 阀门、膜、光束和其它微结构要能经受剧烈的冲击和震动。尽管传统的机电设备也必须 达