电子显微镜讲义研究生第一章.pptx

课堂要求和风格保持仪容整洁保持课堂纪律性（课堂坚决不能出现手机铃声和接听电话、不准上课吃东西可以喝水、上课时间不得随意走动）保持课堂交互性（我会随时提问，可以讨论）保持课堂理论教学与科研实践相结合目 录第一章 电子显微镜及电子显微镜的基础第二章 透射电子显微镜的结构、原理及应用第三章 电子扫描显微镜原理、应用第四章 电子扫描显微镜原理、应用第五章 XPS的原理及应用*主要参考书1.电子显微镜原理和应用。朱宜，张存珪，北京大学出版社。2.电子显微镜基础。3.电子显微分析，章晓中，清华大学出版社2007.4.透射电子显微学：材料科学教材（4卷本，英文），清华大学出版社、Springer Publisher.第一章 电子显微镜及电子显微镜的基础0 绪论——材料研究的重要性材料是社会发展的基石和支柱新材料是科技发展的先导材料研发和应用能力体现了国家的竞争力材料科学基础的地位 人类社会发展的历史阶段常常用当时主要使用的材料来划分。从古代到现在人类使用材料的历史共经历了七个时代，各时代的开始时间： w /classware/clkx/menu/cailiao/dzja/ppt(web)/材料科学的历史〉〉300,000%20BC——3,500%20BC5.htm石器时代（公元前10万年）w /classware/clkx/menu/cailiao/dzja/ppt(web)/材料科学的历史〉〉3,000%20BC——1,886%20AD6.htm青铜器时代（公元前3000年）w /classware/clkx/menu/cailiao/dzja/ppt(web)/材料科学的历史〉〉1,939%20AD——NOW7.htm铁器时代（公元前1000年）w 水泥时代（公元0年） w 钢时代（1800年） w 硅时代（1950年） w 新材料时代（1990年） 因为材料的应用获得的益处： 秦帝国的统一——青铜兵器性能的提高和兵器标准化制备。 航海时代的开始——指南针的使用（磁性材料）工业革命——钢铁材料的发展信息时代——半导体材料、单晶硅、光纤材料航空航天——有色轻金属合金、复合材料、先进陶瓷材料 材料科学研究材料科学不仅着眼于基础理论的研究，也考虑了实际应用——四要素。材料的固有性能 成分/组织结构制备合成与加工工艺 材料的服役性能或使用性能材料的使用性能 制备合成/加工工艺 材料固有性能 成分/组织结构 α普通塑料聚偏氟乙烯压电、热电材料β性能可以提高百倍聚合物的性能结构依赖性晶体尺寸晶体取向晶体类型聚合物多层次结构0.2mm 200nm 1nm 0.2nm o.1nm人眼光学显微镜透射电子显微镜扫描探针显微镜扫描电子显微镜SpheruliteStacked lamellar structure in a spheruliteFolded chains packed in a crystalline lamellae?mCrystal structurenm? 显微术：光学、电子、扫描探针SPMTEMSEMLM显微镜简介1986年, 鲁斯卡、宾尼和罗雷尔被授予诺贝尔物理学奖．Ernst Ruska1906-1988 第一代显微镜——光学显微镜 1830年代后期为M.Schleide和T.Schmann所发明；它使人类“看”到了致病的细菌、微生物和微米级的微小物体，对社会的发展起了巨大的促进作用，至今仍是主要的显微工具 .1932年Ruska电子显微镜Knoll第二代显微镜——电子显微镜 20世纪三十年代早期卢斯卡（E.Ruska）等发明了电子显微镜，使人类能”看”到病毒等亚微米的物体，它与光学显微镜一起成了微电子技术的基本工具。扫描隧道显微镜1982年第三代显微镜——扫描探针显微镜（SPM） 也可简称为纳米显微镜。1982年宾尼和罗雷尔发明了扫描隧道显微镜（STM），使人类实现了观察单个原子的原望；1985年宾尼发明了可适用于非导电样品的原子力显微镜（AFM），也具有原子分辨率，与扫描隧道显微镜一起构建了扫描探针显微镜（SPM）系列。从1830年到1982年150年内，人类眼睛的也从200nm“看”到了0.1nm，提高了2000倍。1.2 电镜历史1924年De Broglie证明了快速粒子的辐射，并发现了一种高速运动的电子波，其波长为0.005nm，比可见光绿光波长短10万倍，由衍射效应确定的分辨率应为0.0025nm，但实际上为0.18nm．1926年，Busch提出了用轴对称的电场和磁场对电子束进行聚集，发展成电磁透镜．世界上第一台电镜：1932年， 柏林，放大倍数12倍（西门子公司鲍利斯和鲁斯卡）。1934年分辨率提高到50nm；1938年