ESD规划及设计.doc

车间流水线怎样作ESD？应铺设什么样的设施？ 2008-03-01 00:08 电子行业防静电措施 生活,生产中静电可谓无处不在,无时不在,从举手投足间服装的磨擦,到干燥空气的流动,都是静电产生的青萍之末.如果条件适宜,发端乎几伏,登峰造极于几百上千伏,瞬间亦可实现.这些都对CMOS等静电敏感电路造成极大威胁,更不待说设备漏电造成的危害了,故电子行业无不将静电当成大敌,尽一切努力将之柜之门外. 静电是相对于“动电”,即导体中的流动电荷而言,是一般情况下不流动的电荷.多由绝缘体物体间互相磨擦或干燥空气与绝缘物磨擦产生.当它能量积累到一定程度,防碍它中和的绝缘体再也阻挡不住时,即发生剧烈放电,即静电放电(ESD),这时的最高电压可达几千乃至几万伏.势必对静电敏感组件造成损害(见表1、表2) 表1 生产现场易产生的静电电压. 生产场合 静电电压 湿度10~20% 湿度65~90% 在地毯上走动时 35000V 1500V 在乙烯树脂地板上走动时 12000V 250V 手拿乙烯塑料袋装入器件时 7000V 600V 在流水线工位接触聚酯塑袋时 20000V 1200V 在操作工位与聚胺酯类接触时 18000V 1500V 表2 静电对部分电子器件的击穿电压. 器件类型 EOS/ESD的最小敏感度 (以静电电压V表示) VMOS MOSFET 砷化镓FET EPROM JFET SAW(声表面波滤波器) 运算放大器 CMOS 肖特基二极管 SMD薄膜电阻器 双极型晶体管 射极耦合逻辑电路 可控硅 肖特基TTL 30~1800 100~200 100~300 100以上 140~7000 150~500 190~2500 250~3000 300~2500 300~3000 380~7800 500~1500 680~1000 100~2500 雷电是气流与云层中水滴磨擦产生的高压静电放电而形成,高压带电云层经过建筑物附近时,可由避雷针的尖端放电效应中和掉一部分电荷;当云层中电荷量太大,或云层移动太快而来不及全部中和时,将通过避雷针剧烈放电形成雷击.这两种情况下,尤其是雷击时,整个建筑物及附近地面都是带电的,雷击的危害主要是直击雷和雷电感应.由于人在建筑物中处于等电位状态,象鸟儿落在高压线上一样,所以一般不会受到雷击.但雷电感应(超高压静电感应和强电磁感应)会对静电敏感器件造成损害. 设备漏电,尤其是不会对人造成触电伤害的徽小漏电并不属于静电.虽然大多数情况下人们几乎感觉不到,但由于其普遍性(任何电器设备多少总有些漏电)和高内阻的特点,产生最高近似于电源电压(100~400V),时间很短的尖峰电脉冲,仍足以对静电敏感器件造成电气过载(EOS)损害.所以也是静电防护体系中极为重要的一个方面. 静电放电(ESD)及电气过载(EOS)对电子元器件造成损害的主要机理有:热二次击穿;金属镀层熔融;介质击穿;气弧放电;表面击穿;体击穿等等。见附表3 元器件类别 元器件组成部分 失效机理 失效标志 MOS结构 MOSFET(分立) MOS集成 数字集成 线性集成 混合电路 电压引起的介质击穿和接着发生的大电流现象 短路漏电大 半导体结 二极管(PN.PIN肖特基) 双极晶体管 结型场效应管 可控硅 双极型集成电路,MOSFET和MOS集成电路 电过剩能量和过热引起的微等离子体二次击穿和微扩散 由Si和AL的扩散引起电流束增大(电热迁移) 失效 薄膜电阻器 混合集成电路(厚膜、薄膜)电阻单片集成电路薄膜电阻器 密封薄膜电阻器 介质击穿,与电压有关的电流通路与焦尔热量有关的微电流通路的破坏 电阻漂移 金属化条 混合IC 单片IC 梳状覆盖式晶体管 与焦尔热能量有关的金属烧毁 开路 场效应结构和非导电性盖板 存贮器 EPROM等 由于ESD使正离子与表面积垒.引起表面反型或栅阀值电压漂移 性能退化、失效 压晶体管 晶振声表面波 电压过高产生的机械力使晶体破裂 性能退化、失效 电极阀的间距较小部位 声表面波器件 IC内各种微电路 电孤放电使电极材料熔融 性能退化、失效 防静电应以防止和抑制静电荷的产生,积聚,并迅速安全、有效地消除已产生的静电荷为基本原则.但防静电诸多措施实为一套系统工程,一个环节的疏漏可能就有千里之堤溃于蚁穴之臾,不可不慎. 1. 防静电地线的埋设: (1).厂房建筑物的避雷针一般与建筑物钢筋混凝土焊接在一起妥善接地,当雷击发生时,接地点乃至整个大楼的地面都将成为高压大电流的泄放点,一般认为在泄放接地点20M范围内都会有跨步