传感器第4节压电式.ppt

压电常数矩阵 压电效应能量转换的几种基本形式 4.2.1石英晶体的主要性能 具有实用价值的压电材料 不需要人工极化 没有热释电效应（由于温度的变化引起极化状态改变的现象称为热释电效应 ） 介电常数、压电常数的温度稳定性好 居里点温度达：5730 c 压电材料开始丧失压电性能的温度 性能稳定、机械强度高 4.3 压电传感器的等效电路 压电传感器的实际等效电路－压电传感器在实际使用时总要与测量仪器或测量电路相连接, 因此还须考虑连接电缆的等效电容Cc, 放大器的输入电阻Ri , 输入电容Ci以及压电传感器的泄漏电阻Ra 串联; 电荷相等 电压相加 电容减小 并联： 电压相等 电荷相加 电容相加 压电式力和压力传感器 一、力传感器 1、单向力传感器 2、双向力传感器 3、三向力传感器 二、压力传感器膜片式压电压力传感器： 频响特性－受力分析 （3）压电加速度传感器的结构 1、压缩型 特点： 基于厚度变形,结构简单。 频响好（固有频率高） 灵敏度高 对环境影响（基座变形、应变、温度变化、声噪声）比较敏感 2、剪切型 ⑴环型剪切 ⑵三角剪切型 ⑶H剪切型 剪切型的特点 受环境影响小 横向灵敏度小 尺寸小、重量轻 灵敏度高 频响高 3、三向加速度传感器利用三组压电元件 第一组：压缩型 第二组：剪切型 第三组：剪切型 振动分析 飞机轮子振动分析 影响压电式传感器主要因素 横向灵敏度 环境温度和湿度 安装差异及基座应变 噪声(电缆噪声，接地回路噪声）等 后座 垫圈 外壳 石英晶片 导电片 传力块 膜片 压电式血压传感器如图压电陶瓷，双晶片悬梁结构。双晶片极化方 向相反，并联相接。在敏感振膜 中央上下两侧各胶粘有半圆柱塑 料块。被测动脉血压通过上塑料 块、振膜、下塑料块传递到压电 悬梁的自由端。压电梁弯曲变形 产生压电式血压传感器的电荷输 出。 压电式玻璃破碎报警器 （1）工作原理－结构组成 基座 壳体 弹簧 质量块 压电片 压电式加速度传感器 压电式加速度传感器属于惯性式传感器。 测量时传感器基座与试件刚性连接在一起。 它是利用某些物质如石英晶体的压电效应，当传感器受振时，质量块受到与加速度方向相反的力的作用，并作用在压电元件上。 当被测振动频率远低于加速度计的固有频率时，则力的变化与被测加速度成正比。传感器输出电荷也与加速度成正比。 （2）工作原理 [质量块的绝对位移x2，激励为x1 ，质量块相对位移xt] 拉氏变换得 传递函数为 质量块 外壳 压电元件 基座 外壳 基座 质量块 压电元件 中心柱 预紧环 压电元件 质量块 三角中心柱 压电元件 质量块 (a)中心安装压缩型?? (b)环形剪切型?? (c) 三角剪切型 常用的压电式加速度计的结构形式如图所示。S是弹簧，M是质量块，B是基座，P是压电元件，R是夹持环。 图a是中央安装压缩型，压电元件—质量块—弹簧系统装在圆形中心支柱上，支柱与基座连接。这种结构有高的共振频率。然而基座B与测试对象连接时，如果基座B有变形则将直接影响输出。此外，测试对象和环境温度变化将影响压电元件，并使预紧力发生变化， 易引起温度漂移。 图b为环形剪切型，结构简单，能做成极小型、高共振频率的加速度计，环形质量块粘到装在中心支柱上的环形压电元件上。由于粘结剂会随温度增高而变软，因此最高工作温度受到限制。 图c为三角剪切形，压电元件由夹持环将其夹牢在三角形中心柱上。加速度计感受轴向振动时，压电元件承受切应力。这种结构对底座变形和温度变化有极好的隔离作用，有较高的共振频率和良好的线性。 4.2.2 压电陶瓷的压电效应 压电陶瓷是人工制造的多晶体压电材料。 材料内部的晶粒有许多自发极化的电畴, 它有一定的极化方向, 从而存在电场。 在无外电场作用时, 电畴在晶体中杂乱分布, 它们的极化效应被相互抵消, 压电陶瓷内极化强度为零。因此原始的压电陶瓷呈中性, 不具有压电性质。 压电陶瓷极化处理 在陶瓷上施加外电场时, 电畴的极化方向发生转动, 趋向于按外电场方向的排列, 从而使材料得到极化。外电场愈强, 就有更多的电畴更完全地转向外电场方向。 让外电场强度大到使材料的极化达到饱和的程度, 即所有电畴极化方向都整齐地与外电场方向一致时, 外电场去掉后, 电畴的极化方向基本不变, 即剩余极化强度很大, 这时的材料才具有压电特性。 极化方向即外加电场方向，取为Z轴方向。 E 压电陶瓷的正压电效应 如果在陶瓷片上施加一个与极化方向平行的压缩力，压电片 产生压缩变形，使内部束缚电荷的间距变小，电畴发生偏转， 极化强度变小，致使内部的束缚电荷变少，导致被吸附在外面 电极上的自由电荷有一部分