雷射干涉仪.pptVIP

安全注意事項 雷射光對人体視網膜具有偒害，請勿直視雷射光。 雷射暖機或架設鏡片時可將雷射光暫時關閉。 對焦時盡量避免雷射光打在雷射發射出口，以免造成不良影響。 架設鏡組前，先讓機器欲測軸全行程來回移動，觀察機器架設空間，確定移動空間無其它干涉後，機器才可改為自動移動。 架設或操作雷射干涉儀時，閒雜人等避免靠近，以免拌到電源線或傳輸線 所使用的電力來源盡量能夠獨立，並加穩壓器 干涉儀的由來 使用光干涉作為量具可以追溯至 1880 年，當時 (Albert Michelson) 開發出干涉儀由單一波長（單色）光源、半面鍍銀鏡子和兩個鏡子組成 光源在半面鍍銀的鏡子表面上分成兩半，一半的光經 90 度反射到達一個固定距離的鏡子上，其餘的一半 穿過半面鍍銀鏡到達一個可動式鏡子上。經過准直校正，這些鏡子反射回的重組光束會互相平行並反射 回到觀量鏡上。如果每個鏡子與半反射鏡的距離精確相等，這些光將同相地到達觀量鏡上並發生結構干 涉，產生亮光。如果可動式鏡子與半反射鏡之間的距離要遠四分之一波長，則回到觀量鏡上的光束將為 180 度異相，此時將發生相消干擾，產生黑暗。因此，可動式鏡子移動的距離可以由觀量鏡量量得到， 量量方量是在鏡子移動時計算光閃爍次數。 線性定位精度量測 線性定位精度量測是最普通的鐳射量測方式。 鐳射系統通過將軸線讀數器上顯示的位置與鐳射系統量測 的真實位置相比較，量測線性位置精度和重復性。 什麼是定位精度： CNC機器執行時，程式之座標點未必是機器的座標點，程式座標點為理想值，機器座標點為實際值，兩者之間差為機器的定位精度 為什麼要做雷射 量測出機台可能因零件和組裝所造成的誤差， 可利用機器參數補償或重新組裝改進機器加工機精度，確保機器加工的品質。 加強機台精度的穩定性 定位精度的影嚮 定位精度為CNC工作母機的核心 影嚮工件加工時精度的穩定性 直線定位誤差的原因： 誤差原因可能是導程誤差，控制器誤差，機器幾何誤差 雷射干涉儀定位量測發生誤差 A空氣、溫度、溼度、氣壓影響 B待測物之熱膨脹係數 C電子誤差 D死徑誤差 E阿倍(ABBE)誤差 F餘弦誤差 G震動誤差 H鏡組熱膨脹飄移 死徑誤差 死徑誤差是一種與使用 EC10 自動補償的線性量測過程中的環境因數變化有關的誤差。在正常情況下， 死徑誤差很小並且僅在恢復為基準值之後和量測期間發生環境變化時出現。 路徑 L2 的鐳射量測死徑誤差與系統在 L1 上恢復為基準值時兩個光學元件之間的距離有關，如圖 1 所 示。如果干涉儀與反射鏡之間沒有移動，並且鐳射光束周圊的環境條件發生變化，則波長（在空氣中） 將在整個路徑（LI + L2）上發生變化，但是鐳射量測系統僅在 L2 距離上得到補償。因此，將引進死徑量 測誤差，因為光束路徑 L1 沒有得到補償。 餘弦誤差 餘弦誤差 准直誤差通常稱為餘弦誤差。此誤差的大小與鐳射光束和行走軸線之間的准直偏差角有關 Abbe 偏置誤差 要減少 Abbe 偏置誤差的影響，鐳射量測光束應當與需要校準的線重合（或儘量靠近）。例如，要校準 車床 Z 軸的線性定位精度，應當對量測鐳射光束進行准直調整，使之靠近主軸中心線。這樣可以減少機 床俯仰 (pitch) 或偏角 (yaw) 誤差對線性定位精度量測的影響。 雷射 雷射正面 雷射干涉儀簡易保養 使用時應防止碰撞及震動 工作完畢應按操作方法順序一拆解並擦拭乾浄置回儀器盒內 金屬平台在使用完後應擦拭乾淨 干涉鏡及反射鏡片應使用光學鏡片專用擦拭紙擦拭 應小心搬運尤其對鏡片類應有適當的防護及防震，暫不用時以乾淨東西覆蓋 * 調整上下角度 調整左右平移、調整左右角度 以上除三腳架調整外，其它階為微調作用。要作調整之前，先將各部位調整置中。 鏡組的調整 為取得最佳效果，每個反射鏡的安裝應該使鐳射光束擊中其中的一個平面的中心，而上是打在邊緣線上 (1)當反射鏡及干涉鏡皆準備好後，將要量測的軸回歸原點或移動 到與原點相反的極限位置。 (2)將干涉鏡架到主軸的位置，反射鏡架到量測軸(刀塔)上。 (3)儘量將干涉鏡及反射鏡之間的距離縮小，愈靠近愈好。 軟体設定方法 誤差補償圖表 波形分析 * * 雷射系統的核心組件： ML10 的後面板包含一個雷射狀態指示燈、開/關式開關、電源連接、資料鏈結插孔及俯仰調整。 鐳射狀 態指示燈指示鐳射是否已穩定 分光鏡 線性反射鏡 夾緊塊 旋轉鏡 雷射平台 腳架 雷射