e7操作作业指导书-----热场清理-包裹-安装.ppt

单晶炉操作作业指导书 ------热场清理，包裹，安装 编制： 审核： 日期： A热场清理 1.石墨件必须在指定的清理室进行清洗，准备好清洗用品(吸尘刷、无尘纸、吸尘管、研磨布、磨光机、洁净小车等)戴好手套、防尘口罩。清洗好清洗台及周围环境。 2.依次用吸尘刷清洗各类石墨件及碳毡直至确认无污物，吸附挥发物较多的沟槽及接口等部位，要用研磨布认真打磨后再吸尘清洗。 3.注意检查各石墨件是否有损坏及粘硅，有异常及时更换和处理。 4.操作时要轻拿轻放以免造成石墨件的损坏。 5.清理完毕的石墨件放到洁净不锈钢小车上。禁止叠加，移动不锈钢小车要稳当。 6.清洗后垃圾放入垃圾指定处，清洗好清洗台及周围环境. 1.进入洁净的石墨房穿戴好洁净工作服、鞋，准备好一次性洁净手套、袖套、防尘口罩。 2.准备好直尺，钢卷尺，克丝钳，刀具，钼丝，吸尘刷，切割碳毡的模具及清理干净的不锈钢小车 3.将PVC板平铺在地板上，用吸尘刷将表面清理干净，再将石墨碳毡打开铺在PVC板上，如图1，2 B热场包裹 4.用钢卷尺测量石墨件的高度h（决定碳毡的宽度）和外径d，并根据外径计算石墨碳毡的总长L（例如中保温筒碳毡7层/L=7*лd）如图3 5.再根据测量的数据，用钢卷尺和直尺切割石墨碳毡如图4，5，6 6.将保温筒水平放置于PVC板上，将石墨碳毡一端立起，先绕过保温筒一圈，下端与保温筒下沿保持齐平，转动保温筒，将碳毡逐层紧绕在保温筒上，如图7，8（上中下保温筒碳毡层数比例为6：7：6） 7.用克丝钳和钼丝将裹好的碳毡捆扎，定型。如图9 8.用刀具将中保温筒测温孔及下保温筒排气孔对应的碳毡切除。如图10 9.检查碳毡上下沿是否齐平，多余部分用刀具逐层切割，要求上下沿切割面水平，保证上中下保温筒卡口到位且碳毡间不留缝隙。如图11，12，13，14 10用切割碳毡的模具分别将上下保温盖间碳毡，上下压片间碳毡，炉底碳毡，导流筒内碳毡切割完整，如图15，16，17，18（层数分别为1，2，5，1） 11.用吸尘刷将包裹好的上中下保温筒碳毡及切割好的保温碳毡表面清理干净，再有序放置在不锈钢小车上。如图19 12.工具，模具等放回指定位置，清理好现场及周围环境 a.石墨大件安装（1次/4炉）。 1.用不锈钢小车将清理完毕的石墨大件平稳移到单晶炉侧边。 2.依次装好石墨电极→炉底碳毡→炉底压片→下保温罩→两侧排气管→炉底上压片下碳毡→炉底上压片→埚杆护套→电极护套→石英护套。 3.石墨电极上下接触面要垫一层石墨纸，并检查接触面是否平整，防止打火。 4.装入下保温筒，再将排气管与下炉筒两边排气孔对正 C热场安装 4.将清理后的加热器装好，拧上石墨螺丝，要拧紧，防止引起打火，并盖上石墨螺丝盖。 5.将清理后的中保温罩装好，卡口到位。并校正与加热器的间距，要均匀一致，否则需调整好。 6.打开液压泵，升起炉筒至上限，用沾有酒精的无尘纸擦洗下炉筒上下的结合部，同时转动炉筒到适当位置。 7.下降炉筒降到位后，校对测温孔，防止测光信号过小无法温度自控。 8.安装热电锥，将其及对应的密封及玻璃按原次序装好。 9.将清理后的上保温罩装好，并卡口接到位。 b 石墨小件安装 1.用专用工具装好埚杆。要拧紧埚杆螺丝，检查托杆是否晃动，防止长晶时液面晃动。 2.打开埚转及埚快速升降，检查有无卡滞现象 3.依次装好埚托、三瓣埚，安装时要确认埚杆、埚底、三瓣埚是否吻合。 4.装好后要打开埚转旋转一下，以检验三瓣埚与加热器间距上是否一致。若不一致，需及时调整。