第10章 光测量技术.pptVIP

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第10章 光测量技术

1.了解光电测量的基本知识及光电器件的特性 2.了解常用的光电器件及其应用 3.掌握光纤传感器的检测原理及其简单应用 光纤: “传” — 传输光波 “感” — 外界作用下光学特性变化 光纤连续 2)、传感型光纤传感器 特点: (1)传光性好、损耗小 (2)频带宽、超高速测量 (3)灵敏度、线性好 (4)非接触、非破坏性、远距测量 (5)体积小、重量轻 几种常用的光纤传感器 1 光纤加速度传感器 2 光纤位移传感器 光纤位移传感器是利用光导纤维传输光信号的功能,根据探测到的反射光的强度来测量被测反射表面的距离。 光电转换 放大器 A/D 单片机 显 示 利用光导纤维传输光信号的功能,根据探测到的反射光的强度来测量被测反射表面的距离。 1.光纤探头端部紧贴被测部件时,发射光纤中的光不能反射到接收光纤中去,因而就不能产生光电流信号; 2.被测表面逐渐远离光纤探头时,发射光纤照亮被测表面的面积A越来越大,因而相应的发射光锥和接收光锥重合面积B1越来越大,因而接收光纤端面上被照亮的区B2也越来越大,有一个线性增长的输出信号; 3.当整个接收光纤的端面被全部照亮时,输出信号就达到了位移-输出信号曲线上的“光峰点”,光峰点以前的这段曲线叫前坡区; 4.当被测表面继续远离时,由于被反射光照亮的面积B2大于C,即有部分反射光没有反射进接收光纤,且由于接收光纤更加远离被测表面,接收到的光强逐渐减小,光敏检测器的输出信号逐渐减弱,便进入曲线的后坡区。 工作原理 在后坡区,信号的减弱与探头和被测表面之间的距离平方成反比。 在位移-输出曲线的“前坡”区中,输出信号的强度增加得非常快,所以这一区域可以用来进行微米级的位移测量。 “后坡”区可用于距离较远而灵敏度、线性度和精度要求不高的测量。 光峰区:输出信号对于光强度变化的灵敏度要比对于位移变化的灵敏度大得多,所以这个区域可用于对表面状态进行光学测量。 * 第10章 光电测量技术 学 习 要 求 光电式传感器:将被测量的变化转换成光量的变化,再通过光电元件把光量变化转换成电信号的一种装置。 光电传感器的物理基础是光电效应。 10.1 光电测量基础知识 x1 光源 光通路 光电器件 测量电路 光量 光量 电量 x2 输出 X1——被测量直接引起光源光量的变化 X2——被测量在光传播过程中调制光量 对光量的调制方法: 物体在光的照射下产生电子发射的现象称为光电发射效应或外光电效应。 E=h·f h 普朗克常数,h=6.63×10-34J·S; f 是光的频率。 光子的能量E与它的频率成正比(爱因斯坦光量子理论) 光电效应分两大类型:外光电效应和内光电效应 10.2 外光电效应 物体表面受光照射,表面内的电子与光子碰撞,光子把全部能量转移给电子。如电子的能量超过逸出功A0时,电子就逸出物体表面产生光电发射。 如果不考虑电子热运动的能量,产生光电发射的条件是:光子能量h·f超过表面逸出功A0。 mv2/2=hf-A0 v-电子逸出时的速度; m-电子的质量。 爱因斯坦光电方程说明光电发生服从以下定律: 1)物体表面发射的电子数(光电流)与光强成正比; 2)光电子的动能随光的频率成正比的增加,而与光强无关; 3)光电子逸出物体表面,h·fA0。对于每种物体都存在一个极限频率(红限频率f0) 否则不会有光电子发射出来。 在真空的玻璃泡内装有两个电极:光电阴极和阳极。 (1)结构和工作原理 (真空光电管) 光电管 光电阴极贴附在玻璃泡内壁或涂在半圆筒形的金属片上,当阴极受到适当波长的光线照射时便发射电子,电子被带正电位的阳极所吸引,这样在光电管内就有电子流,在外电路中便产生了电流。 充气光电管 在玻璃泡内充以少量的惰性气体,如氩或氖。光电子在趋向阳极的途中撞击惰性气体的原子,使其电离,使阳极电流急剧增加,提高了光电管的灵敏度。 缺点:灵敏度随电压显著变化、稳定性、频率特性等比真空光电管差。 光电倍增管 在入射光极为微弱时,光电管产生的光电流很小,在这种情况下即使光电流能被放大,但信号和噪声同时被放大了,为克服这个缺点,要采用光电倍增管。 (1) 光电倍增管的结构和工作原理 由光电阴极、若干个倍增极和阳极三部分组成。 光电倍增极上涂有电子轰击下能够发射更多电子的材料。 倍增极数目在4~14个不等。 光照 半导体 电子在物体内部运动 内光电效应 光电导效应、光生伏特效应 光电导:入射光子的能量如果大于禁带宽度,即hf≥Eg,电子受光子的激发由价带越过禁带跃迁到导带,载流子数增多使其电阻下降。

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