DSS长晶时间与微晶关系.docxVIP

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[探讨]DSS长晶时间和微晶关系 原因:从事多晶铸锭工作的坛友应该对长晶时间和微晶这两个矛盾印象很深,就目前所知来说,耗时越长,微晶比率越低,耗时越短,微晶比率越高. 议题:屏除原料的差异的前提下,比较好的关于微晶和长晶时间的权衡 设备:DSS 规格:270kg 解析问题 从质量角度来说 ??微晶杂质比率等缺陷越低越好 ??一般来说.原料、坩埚、热场和操作等的影响微晶杂质 ??如果需要降低微晶杂质比率,比较直接的方法就是减缓长晶速度 从生产角度来说 ??合格率超过某一比率的产品越多越好 ??而长晶越快,产品数量自然越多 ??但是随之而来的就是硅块有效长度变短 矛盾自然形成 为了质量延长铸锭运行耗时 为了产量降低铸锭运行耗时 本次讨论目的就是找到相对来说的平衡 燃烧的冰 2008-7-20 14:31 希望大家踊跃发言 视回帖质量予以加分鼓励 xks0 2008-7-20 15:45 小提下 对DSS炉来说 生长段分阶段设定长晶速率 是很必要的?? 不必要全部增加长晶阶段时间 必要的话 可以做下热场调节 一般微晶就解决了 所以 时间和产量上 要是做到好处 不会有矛盾 要是可以加权限就好了;大笑 ;色 燃烧的冰 2008-7-20 16:05 多数微晶在中心部位的硅块中部 可能热场和坩埚也是一部分原因吧 鱼疯 2008-7-20 16:05 没什么可聊的,我们这里的人,数学及物理水平达不到GT的水平,否则就自己设计热场了. 要说嘛,只能是GT的设计目前是最佳的了. 还有嘛,觉得DSS炉为什么炉温全部是向高处走,莫不是也TMD水性扬花来着.呵呵.. 反正调整的方法最好不以提升隔热笼高度做为技术指标手段,提升隔热笼第一个坏处就是增大了设备的功耗,长期下来,功率造成损失也是巨大的.尤其是全国这么多炉子.要多用多少电呀!可惜,偶没资料,也没权限去研究. 燃烧的冰 2008-7-20 16:07 不知道国内自主设计的DSS和GT的DSS比较 硅块有效长度是否有可比性呢 鱼疯 2008-7-20 16:21 我想是一样的,总之硅锭长宽是同样尺寸,热场就肯定是一样的. 我想270KG的体积下,只有使用690*690*大约25公分高吧.一定是这种. 燃烧的冰 2008-7-20 16:24 加速提升隔热笼 好象电耗会增加 不过也???有确实的数据来支撑这个假说 大眼睛 2008-7-20 20:58 我不是做这个的,但想找个地方慢慢听你们讨论。。。。;发呆 ;发呆 ;发呆 ;发呆 微晶区域多数为晶界、杂质和位错的复合区域 慢长晶速率有利于排杂,会在一定程度上减少微晶率,但并不能彻底解决微晶问题。 相对于长晶速度来讲,使用料的好坏及热场结构更能够影响微晶率 燃烧的冰 2008-7-21 08:18 LS应该是做单晶的吧 新余魂 2008-7-21 13:59 硅料配比相同 炉台相同 RCP相同 在以上情况下,微晶率仍然会有很大起伏 匪夷所思 杂质和热场有很大的关系,这个是肯定的.这个是通过实验得出的结论! 鱼疯 2008-7-21 16:43 貌似什么也没有研究出来.恐怕我们都不是这类级别的.没有研究数据,都只是在猜!加上几句 ??至于楼上好多人说和热场有关系,还和料有关系,问题是热场是固定的,料是不定的.如果料的特性是符合热场的,那自然就不会有什么问题出来了. ??如果非要研究这个东东,恐怕我们只做肤浅的插棒棒测长晶是解决不了的,长晶速率并不能很好的控制微晶现象,非得来个大人物研究热场.像热力学这类的.能摸透炉内的热传导是如何状态的才行.听说长晶的主要指标是一秒种散多少热量!!不知道是不是? 还有就长晶而言,除了隔热笼上升和温度上升导致功率曲线上升,有时在隔热笼和温度均不变化的情况下,功率也会有上升,教材一般解释是因为长晶会一直继续当中,当液体更多的部分变成固体后,会释放出热量,从而炉内就少了产生热量的液体,从而就需要更多的功率来维持炉内温度. ??我仔细想了一下,但根本也听不怎么太懂,底部长晶后,由液体变固体产生的热量是不可能会传导到上部来,只会通过DSS BLOCK到炉壁吸收并由冷却水带走.因为热传递的产生是由温差造成的,硅锭最底下的温度一定比中间区域低所以产生了温度的由高到低的热量流动.而长晶也由此产生.我个人觉得,功率曲线的上升,还是由于热传导的原因,就像食堂排队吃饭,当都站着不动时,我们把站着消耗的功率看成全部是液体,但前一个人前进,导致后面人不断向前,走动的力量,便是长晶开始增加的功率了. ??为什么没有人沿着GT的道路,把长晶过程中长晶非线性的关系,奕成七步可以控制的线性关系,去分析每一步硅料吸放热,及炉壁的吸热特征,找出不同料之间到底存在着哪种关系.我想大多数微晶还是可能解决的吧!;调皮 [[i] 本帖最后由 鱼疯 于

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