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第3章 压力检测 压力的概念及单位 应变式压力计 薄膜应变片 压电式压力传感器 电容式压力传感器 霍尔式压力计 电子称 光纤压力传感器 集成压敏传感器 第3章 压力检测 工程领域所谓压力即物理学中的压强。是很多生产过程重要的工艺参数之一，是很多生产过程自动化（过程控制）常见的测控对象之一。 本章简要介绍压力的概念及单位，重点讲解应变式压力计、压电式压力传感器、电容式压力传感器和霍尔式压力计的测量原理及测压方法。 3.1 压力的概念及单位 一、压力的概念:压力是垂直而均匀地作用在单位面积上的力。大小由受力面积的大小和垂直作用力的大小决定。表达式为： 二、压力的单位 （p.82-83） SI单位：帕斯卡（Pa）。 工程领域常用单位：① 工程大气压（at）；② 标准大气压（atm）；③ 约定毫米汞柱（mmHg）；④约定毫米水柱（mmH2O）。 常用单位与帕斯卡的换算关系见表3.1.1。 3.1 压力的概念及单位 三、压力的分类 ① 绝对压力 ② 环境大气压力 ③ 表压力 ④ 真空度 ⑤ 差 压 上述各种压力的相互关系见上图。 3.2 应变式压力计 3.2.1 金属应变片 金属丝的电阻值随外力作用发生机械形变（拉伸或压缩）而相应改变，称为金属材料的电阻应变效应。 一段长度为l，截面积为S，电阻率为ρ的金属丝，受力前后的电阻值的变化： 3.2 应变式压力计 （轴向）应变 径向应变 3.2 应变式压力计 金属电阻应变片分为金属丝式和箔式，下图所示为金属丝式和金属箔式电阻应变片。 常用的电阻应变丝的材料是康铜丝和镍铬合金丝，用薄纸作为基底的应变片称为纸基应变片；用有机聚合物作为基底的应变片称为胶基应变片。 3.2 应变式压力计 电阻应变片的结构： 1-敏感栅 2-基底（厚0.02~0.04mm） 3-引线 4-金属膜引线 3.2 应变式压力计 3.2 应变式压力计 3.2.2 半导体应变片(p.87) 单晶半导体材料在沿某一轴向受外力作用时，电阻率发生显著变化，称为半导体的压阻效应。半导体应变片电阻的变化主要是电阻率变化引起的，表示为 由于 ， 上式又可写为 为提高灵敏度，半导体应变片还有制成栅形的。应变花? 3.2 应变式压力计 与金属应变片相比，半导体应变片的主要优点是灵敏度高（1~2个量级）；主要缺点是温度误差大，必须有补偿措施。 “温度误差及其补偿”见后。 3.2 应变式压力计 3.2.3 应变片的粘贴及温度补偿 一、应变片的粘贴 粘贴工艺包括被测试件表面处理，贴片，质量检查，焊接引线以及防护与屏蔽等。(p.88) 二、温度误差及其补偿 1.温度误差 温度误差是指环境温度变化引起应变片电阻变化。原因有两方面：一方面是应变片电阻丝的温度系数，另一方面是电阻丝材料与试件材料的线膨胀系数不同。 3.2 应变式压力计 2.温度补偿 电桥补偿法如图。一工作片,一补偿片；两工作片(条件?优点?) 。 3.2 应变式压力计 3.2.4 测量电路 常用直流电桥，如图示。 3.2 应变式压力计 3.2 应变式压力计 直流电桥的调零用电位器即可。 直流电桥的供电和调零都较简单。但是，输出信号需要放大时，用直接耦合放大器（很多被测量是静态的或缓变的），有漂移问题。 为解决漂移等问题，常用交流电桥。但是，供电（稳频和稳幅）和调零（电位器和电容）都较复杂；输出为调幅信号。通常需要解调电路（如相敏检波器）。 近年来，由于低漂移集成运放的发展，直流电桥得到了广泛应用。 在测控实践中，为了能将传感器输出信号（一般很微弱）从各种噪声中分离出来，将传感器输出信号调制（赋以一定特征），是一种常见做法。很多情形中，调制是通过传感器测量电路实现的（如交流电桥）。 3.2 应变式压力计 3.2.5 应变式压力传感器 一、膜式应变传感器（p.91） 下图是一种简单的平膜压力传感器，应变片贴在膜片的内表面。膜片感受压力时产生应变，使应变片有一定的电阻输出。特点？（p.93） 3.2 应变式压力计 二、测力计式应变传感器（p.93） 右图为一种带水冷的测力计式应变压力传感器。 水冷，传感器可在高温环境工作。 3.2 应变式压力计 3.3 薄膜应变片 传统应变片的缺点？（p.95） 薄膜应变片是用溅射或蒸发的方法将半导体或金属敏感材料镀在弹性基片上的。 薄膜应变片的优点？（p.95-96） 3.3 薄膜应变片 3.3.1