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进阶元件实做
進階元件實做 - Microfluidic device for single cell capture 組員:饒仁郁 余思緯 授課老師:李旺龍 副教授 Anticipate result Experimental parameters Progress chart * * ICP低溫AZ (pressure 10mtorr) 2.2mμSi / min 0.04mμAZ / min 選擇比: 1:55 ?側向過度蝕刻 ICP常溫AZ( pressure 6.3mtorr) 1.78mμSi / min 0.26mμAZ / min 選擇比: 1:55 ?正常 ICP常溫S1818(pressure 6.3m torr) 2.25mμSi / min 0.05mμS1818 / min 選擇比: 1:45 ?OTS沒有上好 Discussion Final report (product .poster) Experiment (actually) Midterm report Parameters (try and error) June May April March mouth Item 目前階段 * * * 1.Cr/Au=15/65 (nm)u 2.The microfluidic channels were defined by SU-8 mold. 3.The microfluidic channels and cell-trapping structures were made of PDMS using the SU-8 mold. 4.The width and depth of microchannels are 100 μm and 25μm, respectively. 5.The size of the micro pillars is 10μm x 10 μm x 25μm. 6.The PDMS channels and the glass substrate with electrodes were treated by O2 plasma (800 W, 12 sec) to improve bonding strength.
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