四族磊晶沉积系统-国家试验研究院.DOCVIP

財團法人國家實驗研究院 國家奈米元件實驗室 『』 規範書目錄 頁次 壹、 說明： 3 貳、 設備明細： 3 叁、 規格審查文件： 6 肆、 安全規範： 6 伍、 保固： 6 陸、 廠務設施： 7 柒、 教育訓練： 7 捌、 交付使用使文件： 7 玖、 廠商規範與報價： 8 十、 履約期限、測試和驗收： 8 附註1 安全原則與規範細項　　　　　　　　　　　　　 　　　　 9 附註2 廠務設施規範細項 　　　 13