冶金硅太阳电池的欧姆接触制作及质量分析.pdfVIP

内蒙占火学硕士学位论文 目录 第一章 引言．．．．…．．……．．．．．．．．．…．．…．．．．．．．．．．．．…．…1 1．1背景．．………………．．．．…………．．…．………．．．．．．．．．．．．…．．1 1．2太阳能电池的工作原理、结构及表征参数………………………………2 1．2。1太阳能电池的工作原理…………………………………………………．．2 1．2．2晶硅太阳电池的基本结构…………………………………………………4 1．2．3太阳电池的表征参数……………………………………………………．4 1．2．4晶体硅光伏发电的产业链…………………………………………………6 第二章 生产所需相关材料、设备及测试仪器……………………．7 第三章丝网印刷技术生产多晶硅电池………．…．……．…．…．…9 3．1常规多晶硅太阳电池生产工艺流程……………………………………9 3．1．1电池的表面陷光结构的制备………………………………………………。9 3．1．2扩散制PN结…………………………………………………………．10 3．1．3等离子刻蚀去周边PN结……………．…………………．．………………13 3．1．4洗电池表面的磷硅玻璃层………………………………………………．．13 3．1．5等离子体增强化学气相沉积(PECVD)制备氮化硅薄膜…………………………．．14 3．1．6丝网印刷制电极、背电场及烧结工艺………………………………………．．15 3．1．7电池的烧结合金……………………………………………………．…19 3．2晶体硅电池的测试与分选…………………………………………．21 3．2．1电池的测试与分选设备和标准电池片………………………………………．．21 3．2．2硅电池片的质检分类……………………………………………………22 第四章冶金硅太阳电池的研制及批量生产．．．…．．…．．．．．．．．………23 4．1冶金硅电池的制备工艺流程………………………………………．．23 4．1．1冶金硅电池的扩散制结方案………………………………………………23 4．1．2冶金硅电池的丝网印刷方案…．…………………．………………………．24 4．2冶金多晶硅电池的丝网印刷…………………………………．……．24 4．2．1印银背电极及烘干、印铝背场及烘干………………………………………．．24 4．2．2印银上电极………………．．．…．……………………………………．24 第五章冶金硅电池的欧姆接触质量分析………．………………．26 IV 内蒙占人学硕士学位论文 5．1冶金硅电池测试结果……………………………………………．．26 5．2冶金硅电池的欧姆接触质量分析……………………………………．27 5．2．1串联电阻对冶金硅电池效率的影响…………………………………………．27 5．2．2烧结对冶金硅电池效率的影响……………………………………………．28 5．2．3冶金硅电池效率存在的主要问题…………………………………………．．29 第六章总结．…．．．…．．．．．．．．．．．…．．．．．．．．．．．．．．…．．．．…．．．30 参考文献…．…………………………………．………．．3l 致 谢…………………………………………．．…．．32 参加的科研课题及成果……．……．．．．……．．．……．……．．…33 V 内蒙古大学硕士学位论文 第一章引言帚一旱5I舌 1．1背景 随着经济的快速发展，全球能源消耗日益突出，环境污染问题也越来越严重。20世纪下 半叶以来，世界最大问题之一就是寻求新型可替代能源。 太阳能光伏产业以其最具清洁和发展潜力得到全球的认可，近十几年得到了迅猛发展。 据欧洲光伏产业协会数据，1996~2009年，全球光伏电池产量持续增长，年均增长速度达 44．9％【1】，2006年后，中国连续4